[实用新型]MEMS地震检波器

权利要求书

1.一种MEMS地震检波器，其特征在于，包括：设有上盖的保护壳、设置在保护壳内的MEMS机芯和设置在保护壳外的尾锥； 

其中，所述MEMS机芯包括固定在所述保护壳内的机芯壳、设置在所述机芯壳内的支撑架和设置在支撑架上的MEMS加速度计；所述支撑架为长方体；所述MEMS加速度计为电容式加速度计，包括X加速度计、Y加速度计和Z加速度计，三者分别立设于所述支撑架上相邻的三个侧面上，且所述Z加速度计所处的侧面为所述支撑架上朝向所述上盖的侧面；所述尾锥设置在螺杆上；所述螺杆穿过所述保护壳的底板，并与所述机芯壳相抵。 

2.根据权利要求1所述的MEMS地震检波器，其特征在于，所述上盖通过固定件固定在所述保护壳上，且两者之间设有密封件。 

3.根据权利要求2所述的MEMS地震检波器，其特征在于，所述上盖和所述保护壳上分别设有密封槽，所述密封件插在所述上盖和所述保护壳的密封槽内。 

4.根据权利要求1所述的MEMS地震检波器，其特征在于，所述保护壳的底板上固定有贴紧所述机芯壳的导电垫，所述导电垫圈在所述螺杆外周；所述机芯壳为铁机芯壳或坡莫合金机芯壳；所述导电垫为铁导电垫、铝导电垫、铁合金导电垫或铝合金导电垫，所述尾锥为铁尾锥、铝尾锥、铁合金尾椎或铝合金尾椎，所述螺杆为铁螺杆、铝螺杆、铁合金螺杆或铝合金螺杆。 

5.根据权利要求4所述的MEMS地震检波器，其特征在于，所述导电垫、所述保护壳和所述螺杆一次塑化成整体。 

6.根据权利要求1所述的MEMS地震检波器，其特征在于，所述上盖上嵌装有水平仪和指南针，且所述上盖上固定有贴覆在所述水平仪和所述指南针外的透明玻璃板。 

7.根据权利要求1所述的MEMS地震检波器，其特征在于，所述尾锥为四棱锥状，且侧面为凹向所述尾锥的中心轴的弧形面。 

8.根据权利要求1所述的MEMS地震检波器，其特征在于，所述保护壳和所述上盖上分别设有反光涂料层。 

9.根据权利要求8所述的MEMS地震检波器，其特征在于，所述保护壳上设有提拉孔；所述保护壳外部设有周向凹槽，所述周向凹槽位于所述保护壳下部，且所述周向凹槽内设有橡胶圈。