[实用新型]研磨盘和研磨垫调整器有效
申请号: | 201420070067.8 | 申请日: | 2014-02-18 |
公开(公告)号: | CN203726325U | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 唐强 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | B24B37/20 | 分类号: | B24B37/20;B24B37/34 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 100176 北京市大兴区大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 研磨 调整器 | ||
1.一种研磨盘,其特征在于,所述研磨盘至少包括:两个分研磨盘,所述分研磨盘包括圆形连接片和两组形状相同的扇形研磨片,所述圆形连接片与每组扇形研磨片的内端固定连接;两个分研磨盘适于通过所述圆形连接片的重合组成圆形结构的研磨盘。
2.根据权利要求1所述的研磨盘,其特征在于,两组扇形研磨片位于所述圆形连接片相对的两端。
3.根据权利要求1所述的研磨盘,其特征在于,所述扇形研磨片至少包括:多个形状相同的弧形研磨条,所述弧形研磨条自所述圆形连接片由内向外延伸,相邻弧形研磨条间具有间隙,所述弧形研磨条的面积大于所述间隙的面积。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的研磨盘,其特征在于,所述扇形研磨片的下表面设有研磨颗粒。
5.根据权利要求4所述的研磨盘,其特征在于,所述研磨微粒采用金刚石或者陶瓷氧化铝。
6.一种研磨垫调整器,用于调整研磨垫表面,其特征在于,所述研磨垫调整器至少包括:研磨盘、活动轴、第一连接杆和第二连接杆,所述活动轴位于所述研磨垫的上方,所述第一连接杆的顶部连接所述活动轴的一端,所述第二连接杆的顶部连接在所述活动轴上并在所述活动轴上水平移动;所述研磨盘至少包括:两个分研磨盘,所述分研磨盘包括圆形连接片和两组形状相同的扇形研磨片,所述圆形连接片与每组扇形研磨片的内端固定连接;两个分研磨盘适于通过所述圆形连接片的重合组成圆形结构的研磨盘,并与所述第一连接杆的底部活动连接,或者两个分研磨盘适于通过所述圆形连接片的分离分开,并分别与所述第一连接杆和所述第二连接杆的底部活动连接。
7.根据权利要求6所述的研磨垫调整器,其特征在于,所述研磨垫调整器还包括:基座和转动轴,所述基座位于所述研磨垫的一侧,所述转动轴连接在所述基座的顶部,所述活动轴的另一端固定连接所述转动轴的侧壁,所述转动轴适于带动所述活动轴在所述研磨垫的上方以所述转动轴为轴转动。
8.根据权利要求7所述的研磨垫调整器,其特征在于,所述研磨垫调整器还包括:转动电机,所述转动电机连接所述转动轴,适于控制所述转动轴转动,从而带动所述活动轴在所述研磨垫的上方以所述转动轴为轴转动。
9.根据权利要求6所述的研磨垫调整器,其特征在于,所述研磨垫调整器还包括:传动电机,所述传动电机与所述第二连接杆连接,适于控制所述第二连接杆在所述传动轴上水平移动。
10.根据权利要求6所述的研磨垫调整器,其特征在于,所述研磨垫调整器还包括:第一通气管和第二通气管,所述第一通气管依次穿过所述活动轴、所述第一连接杆的内部,并与所述第一连接杆的底部同时活动连接所述研磨盘或所述分研磨盘;所述第二通气管依次穿过所述活动轴、所述第二连接杆的内部,并与所述第二连接杆的底部同时活动连接所述分研磨盘。
11.根据权利要求10所述的研磨垫调整器,其特征在于,所述第一通气管、所述第二通气管、所述第一连接杆和所述第二连接杆均为可伸缩结构,所述第一通气管适于在其中抽真空以吸附所述分研磨盘,从而使所述第一通气管和所述第一连接杆收缩而抬起所述分研磨盘,或者所述第一通气管适于在其中通气体以通过所述研磨盘或所述分研磨盘向所述研磨垫施加压力;所述第二通气管适于在其中抽真空以吸附所述分研磨盘,从而使所述第二通气管和所述第二连接杆收缩而抬起所述分研磨盘,或者所述第二通气管适于在其中通气体以通过所述分研磨盘向所述研磨垫施加压力。
12.根据权利要求6所述的研磨垫调整器,其特征在于,所述研磨垫调整器还包括:第一旋转电机和第二旋转电机,所述第一旋转电机与所述第一连接杆连接,适于控制所述第一连接杆旋转,从而带动所述研磨盘或者所述分研磨盘旋转运动,所述第二旋转电机与所述第二连接杆连接,适于控制所述第二连接杆旋转,从而带动所述分研磨盘旋转运动。
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