[实用新型]一种新型硅片干燥箱控制系统有效

专利信息
申请号: 201420075218.9 申请日: 2014-02-21
公开(公告)号: CN203745929U 公开(公告)日: 2014-07-30
发明(设计)人: 黄赛琴;陈轮兴;林勇 申请(专利权)人: 福建安特微电子有限公司
主分类号: G05D23/24 分类号: G05D23/24
代理公司: 福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙) 35212 代理人: 宋连梅
地址: 351100 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 新型 硅片 干燥箱 控制系统
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及控制系统,特别指一种新型硅片干燥箱控制系统。

背景技术

现有的硅片干燥箱都使用温度计以及人工控制干燥箱的温度,具有控制温度不稳,容易过热,且需要人员经常查看,费时费力。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题,在于提供一种新型硅片干燥箱控制系统,解决现有硅片干燥箱温度无法自动控制的问题。

本实用新型是这样实现的:

一种新型硅片干燥箱控制系统,所述的控制系统设置在干燥箱内,包括辅热电机、定时器电路、时间显示屏、热敏电阻、电压比较电路、报警电路、继电器和加热电路,所述的辅热电机通过辅热开关与市电连接,所述电压比较电路通过电源开关与市电连接,所述电压比较电路的输入端与热敏电阻和定时器电路连接,所述的电压比较电路的输出端与继电器和报警电路连接,所述的定时器电路与电源开关和时间显示屏连接。

进一步地,所述热敏电阻为铂电阻。

进一步地,所述的报警电路为声音报警。

进一步地,所述的继电器为固态继电器。

进一步地,还包含一个电源指示灯,所述电源指示灯与电源开关连接。

本实用新型的优点在于:本实用新型可实现超温自动断电及报警,避免了干燥箱过热的问题,且可以定时加热和显示加热时间。

附图说明

下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的说明。

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示,一种新型硅片干燥箱控制系统,所述的控制系统设置在干燥箱内,包括辅热电机、定时器电路、时间显示屏、热敏电阻、电压比较电路、报警电路、继电器和加热电路,所述的辅热电机通过辅热开关与市电连接,所述电压比较电路通过电源开关与市电连接,所述电压比较电路的输入端与热敏电阻和定时器电路连接,所述的电压比较电路的输出端与继电器和报警电路连接,所述的定时器电路与电源开关和时间显示屏连接。本实用新型在使用时,当温度过高或定时器电路的时间到达时,则电压比较电路会控制继电器断开,避免了加热电路(如电热丝)的加热,同时电压比较电路会控制报警电路实现报警,则用户可以知道已经达到加热温度,即可对硅片进行进一步处理。

进一步地,所述热敏电阻为铂电阻。铂电阻具有温度控制准确,温漂小的优点。报警电路为声音报警或者光电报警,继电器为固态继电器,固态继电器使用寿命长。以及本实用新型还包含一个电源指示灯,所述电源指示灯与电源开关连接。则当电源开关闭合时,电源指示灯会亮起,提醒用户。

为了安全起见,在市电与电源开关之间可以接一个交流接触器。

虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式,但是熟悉本技术领域的技术人员应当理解,我们所描述的具体的实施例只是说明性的,而不是用于对本实用新型的范围的限定,熟悉本领域的技术人员在依照本实用新型的精神所作的等效的修饰以及变化,都应当涵盖在本实用新型的权利要求所保护的范围内。

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