[实用新型]硅棒开断装置

权利要求书

1.一种硅棒开断装置，包括：框架、硅棒固定装置和带锯（5），其特征在于：所述硅棒开断装置还包括一垂直检测仪，所述垂直检测仪设置在所述带锯（5）的上方。

2.如权利要求1所述的硅棒开断装置，其特征在于：所述框架包括底板（2）、顶板（1）、第一滑轨（6）和支撑杆（3）；所述第一滑轨（6）设置在所述底板（2）上；所述支撑杆（3）的底端通过所述第一滑轨（6）滑动连接在所述底板（2）上；所述顶板（1）固定在所述支撑杆（3）的顶部。

3.如权利要求2所述的硅棒开断装置，其特征在于：所述第二滑轨与所述第一滑轨（6）相垂直且设置在所述顶板（1）上，所述带锯（5）通过所述第二滑轨滑动连接在所述顶板（1）上且与所述底板（2）相垂直。

4.如权利要求3所述的硅棒开断装置，其特征在于：所述硅棒固定装置包括沿所述第一滑轨（6）长度方向依次排列的底座、第一夹紧装置和第二夹紧装置；所述底座固定在所述底板（2）上且所述底座上设有一弧形凹槽。

5.如权利要求4所述的硅棒开断装置，其特征在于：所述第一夹紧装置和第二夹紧装置均包括第一固定部件、第二固定部件和调节部件；所述第一固定部件和第二固定部件的底部均设有螺孔，所述调节部件包括螺杆和固定在螺杆端部的调节把手。