[实用新型]测试探针卡有效
| 申请号： | 201420076803.0 | 申请日： | 2014-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN203772909U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王小宝;周柯 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 陆花 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测试 探针 | ||
【权利要求书】：
1.一种测试探针卡，在所述探针卡上具有多个探针，其特征在于，所述测试探针卡上还包括第一定位槽和第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽的开口的形状不同。
2.根据权利要求1所述的测试探针卡，其特征在于：所述第一定位槽和所述第二定位槽的深度范围为所述测试探针卡的厚度的50%至80%。
3.根据权利要求2所述的测试探针卡，其特征在于，所述第一定位槽的深度为所述测试探针卡的厚度的75%。
4.根据权利要求2或3所述的测试探针卡，其特征在于，所述第二定位槽的深度为所述测试探针卡的厚度的75%。
5.根据权利要求1所述的测试探针卡，其特征在于：所述第一定位槽的开口为长方形，所述第二定位槽的开口为圆形。
6.根据权利要求5所述的测试探针卡，其特征在于：所述长方形的长大于所述圆形的直径，所述长方形的宽小于所述圆形的直径。
7.根据权利要求1所述的测试探针卡，其特征在于：在所述探针卡的中心区域设有探针区，所述探针位于所述探针区。
8.根据权利要求1所述的测试探针卡，其特征在于：所述第一定位槽的开口的中心点和所述第二定位槽开口的中心点分别位于所述测试探针卡的中心点的两侧，且上述三个中心点位于同一直线上。
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