[实用新型]SPM系统的自动加液机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种SPM系统的自动加液机构，属于集成电路工艺清洗技术领域。

背景技术

在半导体器、集成电路以及光伏等电子产品的制造过程中，经常需要通过光刻方法，将光掩模板上的电路图案大批量印刷到硅晶圆上。在光掩模板经过曝光、显影之后，需要去除表面的光刻胶。而SPM工艺主要用于清洗电子器件基板的有机残留物，硫酸与过氧化氢的混合药液是普遍使用的清洗药液。目前较先进的清洗方法是通过喷淋清洗的方法，现场将加热至规定温度的硫酸与过氧化氢溶液在经过混合阀内按比例进行混合，以形成强氧化的硫酸过氧化氢溶液并喷在旋转的工件上进行去胶，由于药液直接排掉不再循环使用，不会造成交叉污染，去胶效果相对稳定。而在线配置清洗药剂，需要将不同的药剂分别储存在各自指定的容器内，通过输入管道上液泵将容器内的药液送到混合阀内。目前容对药液的补充，是采用人工方式进行补充，一方面所使用的药液都是腐蚀性液体，稍操作不慎，就会造成对操作人员及设备的伤害，另一方面，也会对药液造成污染，而影响清洗效果。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种结构简单，能实现自动加液的SPM系统的自动加液机构

本实用新型为达到上述目的的技术方案是：一种SPM系统的自动加液机构，包括储液瓶，其特征在于：所述储液瓶在瓶口内安装有管接头连接件，所述的管接头连接件上具有进液孔和出液孔，设置在储液瓶内部的内进液管和外部的外进液管连接在管接头连接件的进液孔上，设置在储液瓶内部的内出液管和外部的外出液管连接在管接头连接件的出液孔上，外进液管上安装有液阀，储液瓶外壁在上部设有上感应器、中下部设有下感应器，上感应器的输出端和下感应器的输出端分别与控制器连接，用于控制液阀启闭的控制器与液阀连接。

本实用新型在储液瓶的瓶口的管接头连接件安装有内、外进液管和内、外出液管，在储液瓶外壁在上部和中下部分别设有上、下两个感应器，通过上、下感应器来检测储液瓶内药液存储的下限量和上限量，上、下感应器将分别检测的信号输至控制器内，通过控制器使安装在外进液管上的液阀启闭，自动对储液瓶内自动加注药液。本实用新型通过管接头连接件将进液管和出液管安装在储液瓶上，并通过安装在储液瓶上的上下感应器检测瓶内药液量，结构简单，加药液时为非接触式，不会对药剂产生污染，也提高了操作的安全性。

附图说明

下面结合附图对本实用新型的实施例作进一步的详细描述。

图1是本实用新型的SPM系统的自动加液机构的结构示意图。

其中：1—储液瓶，2—管接头连接件，2-1—进气孔，2-2—排气孔，2-3—出液孔，2-4—进液孔，3—瓶盖，4—单向阀，5—进气管，6—排气管，7—外出液管，8—外进液管，9—液阀，10—液泵，11—锥形密封套，12—锁紧螺母，13—上感应器，14—控制器，15—下感应器，16—内进液管，17—内出液管。

具体实施方式

见图1所示，本实用新型SPM系统的自动加液机构，包括储液瓶1，储液瓶1在瓶口内安装有管接头连接件2，该管接头连接件2可旋接在储液瓶1内或压接进入储液瓶1内，瓶盖3安装在储液瓶1上以防止管接头连接件2脱落，管接头连接件2上具有进液孔2-4和出液孔2-3，设置在储液瓶1内部的内进液管16和外部的外进液管8连接在管接头连接件2的进液孔2-4上，设置在储液瓶1内部的内出液管17和外部的外出液管7连接在管接头连接件2的出液孔2-3上，外进液管8上安装有液阀9，本实用新型的液阀9可采用常规的截止阀或碟阀等，通过控制器14液阀9的启闭实现自动加药的功能，而外出液管7上安装有液泵10，通过液泵10将储液瓶1内的药液送入混合阀内，实现清洗药液的配制。

见图1所示，本实用新型储液瓶1外壁在上部设有上感应器13、中下部设有下感应器15，上感应器13的输出端和下感应器15的输出端分别与控制器14连接，该控制器14可采用现有的微处理器，用于控制液阀9启闭的控制器14与液阀9连接，通过控制器14控制液阀9动作，而实现自动加药液。本实用新型的上感应器13和下感应器15可采用感应式接近开关，当储液瓶1中的药液液面下降到下感应器15的位置时，下感应器15会对储液瓶1内药液的感应而发出信号，通过控制器14使液阀9打开而加药液；如果药剂瓶中的药液液面上升到上感应器13的位置，上感应器13会感应到液体的存在而发出信号停止加药液，通过上感应器13和下感应器15检测瓶内药液液面信号传至控制器14，通过控制器14控制液阀9启闭。