[实用新型]一种多级罗茨真空泵

说明书

技术领域

本实用新型涉及罗茨真空泵技术领域，尤其涉及一种多级罗茨真空泵。

背景技术

真空泵广泛应用于电子、化工、纺织等行业，根据使用需求的不同，采用不同的真空泵或者多种真空泵的组合来获得真空，目前的机械泵在抽真空时，真空度可以达到10^-1Pa；因此在真空度需求不是太高的情况下，一般的机械泵都会满足需求；为了达到较好的抽速、真空极限以及无油性，一般都会采用罗茨泵，但单级的罗茨泵不能单独使用，一般会跟其他的机械泵组合使用；在组合使用时，会造成体积庞大，成本较高；为此，人们研发出多级的罗茨真空泵，如申请号为200710012759.1的中国发明申请专利，名称为：一种直排大气的多级罗茨干式真空泵，该多级罗茨泵采用多级相连结构，泵腔的长度从高真空开始依次减少。该多级罗茨泵虽然解决了直排大气、无油等问题，但该多级罗茨泵的使用级数有限，采用长度依次减少的技术，势必使得最外端的罗茨泵中的叶片厚度非常的小，使得其加工难度增加，从而限制了罗茨泵的扩展。不能很好的提高真空极限。

实用新型内容

本实用新型的目的在于解决现有技术的不足，提供一种多级罗茨真空泵，该多级罗茨真空泵可以提高真空极限，且加工方便。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：

一种多级罗茨真空泵，包括泵体，所述泵体内部设有容置腔，容置腔设有多个隔板，隔板将容置腔分割成多个罗茨腔；所述泵体还包括转轴，转轴上套设有多个罗茨腔相配合的罗茨转子，相邻的两个罗茨转子中，位于前级罗茨腔中的罗茨转子的叶片数量少于或等于位于后级罗茨腔中的罗茨转子的叶片数量。

进一步地，所述相邻的两个罗茨转子中，位于前级罗茨腔中的罗茨转子的外径大于或等于位于后级罗茨腔中的罗茨转子的外径。

进一步地，所述相邻的两个罗茨腔中，前级罗茨腔的厚度大于或等于后级罗茨腔的厚度。

进一步地，罗茨腔的出口处设有用于控制气体流向的单向阀。

进一步地，所述转轴包括主动转轴和从动转轴，主动转轴和从动转轴之间设有传动机构，主动转轴通过传动机构带动从动转轴旋转且主动转轴和从动转轴的旋转方向相反。

更进一步地，所述传动机构包括皮带。

进一步地，所述传动机构包括主动齿轮和从动齿轮，主动齿轮套设于主动转轴，从动齿轮套设于从动转轴，主动齿轮与从动齿轮啮合。

采用齿轮传动，同步率高；且结构简单。

作为等同变形，传动机构为链轮传动机构。分别在主动转轴、从动转轴上设置主动链轮和从动链轮，通过链条连接。

本实用新型取得的有益效果为：本实用新型采用增加转子的叶片数量，来达到改变罗茨腔中可容纳气体的体积，使得多级罗茨泵的加工变得方便，降低成本。

附图说明

图1是本实用新型的一种剖视结构示意图。

图2为本实用新型的第一级罗茨腔与罗茨转子的配合示意图。

图3为本实用新型的其中一级罗茨泵与罗茨转子的配合示意图。

附图标记为：

1——泵体                            2——从动转轴               3——电机

4——联轴器                         5——主动转轴               6——罗茨转子

7——气体通道                     8——隔板                      9——罗茨腔。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步地说明书。

实施例：参见图1至图3。

一种多级罗茨真空泵，包括泵体1，所述泵体1内部设有容置腔，容置腔设有多个隔板8，隔板8将容置腔分割成多个罗茨腔9；所述泵体1还包括转轴，转轴上套设有多个罗茨腔9相配合的罗茨转子6，相邻的两个罗茨转子6中，位于前级罗茨腔9中的罗茨转子6的叶片数量少于或等于位于后级罗茨腔9中的罗茨转子6的叶片数量。