[实用新型]具有氧结构的锑铯光电阴极有效
申请号: | 201420093572.4 | 申请日: | 2014-03-03 |
公开(公告)号: | CN203733752U | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 章振昂;吴明康;王新军;张丹 | 申请(专利权)人: | 上海泰雷兹电子管有限公司 |
主分类号: | H01J29/04 | 分类号: | H01J29/04 |
代理公司: | 上海硕力知识产权代理事务所 31251 | 代理人: | 童素珠 |
地址: | 200444 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有氧 结构 光电 阴极 | ||
技术领域
本实用新型涉及光电阴极产品领域,尤指一种主要应用于光电阴极制作时的影像增强器,用于影像增强器中多碱金属光电阴极的改进结构,是保证光电阴极光发射效率不发生明显的变化,并能提高光电阴极质量的一种层状结构的产品。
背景技术
影像增强器是X射线成像中的重要器件,而阴极又是影像增强器产生探测图像的关键结构,它的作用就是将不可见的X射线图像转换成可见光图像。阴极一般都是采用单、多碱金属制成的,主要有锑-铯单碱金属光电阴极或者锑-铯-钾等多碱金属光电阴极。这些阴极制作工艺成熟、应用在工业生产上的历史较长。至今仍是光电阴极制作的主要方式。
但是,近来也感到它们容易受到其他元素的干扰,会在阴极的局部区域生成不同微结构的光电阴极,从而使得不同区域的光电阴极光发射效率发生明显的变化,在阴极的不同区域会产生随机形状亮度差异。严重影响产品的质量。另外,这种光电阴极在有的应用场合,显得X射线/可见光的转换效率还不够高,限制了该产品的应用范围。
发明内容
为了克服上述不足之处,本实用新型的主要目的旨在提供一种改进型光电阴极的结构,通过具有氧结构层的光电阴极,能克服阴极制作中未知元素对阴极产生的势能波动的影响,改善并且克服在阴极不同区域产生光的不均匀性;获得相同亮度的影像图时,可以使用更低的射线剂量,有利于减少X射线对人体的伤害;达到结构合理、抗干扰性强、转换效率高以及应用范围广的具有氧结构的锑铯光电阴极。
本实用新型要解决的技术问题是:主要解决如何改进光电阴极的内部结构问题;要解决如何设计构建各层面的结构等有关技术问题。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:该装置包括:底层与表层构成的层状结构等,一层状光电阴极自下而上依次设有阴极衬底、碘化铯层、氧化铟层、第一层锑-铯光电阴极层、氧结构层及第二层锑-铯光电阴极层结合为一组合式整体光电阴极,第一层锑-铯光电阴极层、氧结构层和第二层锑-铯光电阴极层组成了具有氧结构的光电管阴极,其中:
阴极衬底与碘化铯层之间以机械蒸镀方式连接,通过加热蒸发将碘化铯蒸镀在阴极衬底的凹面上,并粘结在一起;
碘化铯层与氧化铟层之间以机械电子方式连接,通过机械电子溅射在碘化铯层上,并粘结在一起;
氧化铟层与第一层锑-铯光电阴极层之间以机械方式连接,并粘结在一起;
第一层锑-铯光电阴极层与氧结构层之间以电子方式连接,通过微量的纯氧充入在第一层锑-铯光电阴极层上,并粘结在一起;
氧结构层与第二层锑-铯光电阴极层之间以机械方式连接,并粘结在一起。
本实用新型的有益效果是:该装置改进了光电阴极的内部结构,通过具有氧结构层的光电阴极,保证了光电阴极光发射效率不发生明显的变化,提高了光电阴极的质量,能克服阴极制作中未知元素对阴极产生的势能波动的影响,改善并且克服在阴极不同区域产生光的不均匀性;获得相同亮度的影像图时,可以使用更低的射线剂量,有利于减少X射线对人体的伤害;具有抗干扰性强、转换效率高以及广范应用质量可靠等优点。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
附图1是本实用新型整体结构的外形示意图;
附图2是本实用新型图1的侧视图;
附图3是本实用新型图2中区域A的结构放大示意图;
附图中标号说明:
1—第二层锑-铯光电阴极层;
2—氧结构层;
3—第一层锑-铯光电阴极层;
4—氧化铟层;
5—碘化铯层;
6—阴极衬底;
具体实施方式
请参阅附图1、2及3所示,本实用新型包括:底层与表层构成的层状结构等,一层状光电阴极自下而上依次设有阴极衬底6、碘化铯层5、氧化铟层4、第一层锑-铯光电阴极层3、氧结构层2及第二层锑-铯光电阴极层1结合为一组合式整体光电阴极,第一层锑-铯光电阴极层3、氧结构层2和第二层锑-铯光电阴极层1组成了具有氧结构的光电管阴极,其中:
阴极衬底6与碘化铯层5之间以机械蒸镀方式连接,通过加热蒸发将碘化铯蒸镀在阴极衬底6的凹面上,并粘结在一起;
碘化铯层5与氧化铟层4之间以机械电子方式连接,通过机械电子溅射在碘化铯层5上,并粘结在一起;
氧化铟层4与第一层锑-铯光电阴极层3之间以机械方式连接,并粘结在一起;
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