[实用新型]基于多角度平面透射镜的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转扫描系统

权利要求书

1.一种基于多角度平面透射镜的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转扫描系统，其特征在于包括： 

一用于垂直向下发射激光束的激光器； 

一固设在水平位移平台侧前方的呈直线排列的平面透射镜组，所述平面透射镜组由第1平面透射镜、第2平面透射镜…和第N平面透射镜组成，所述N与待测传感器微悬臂梁阵列上的微悬臂梁数量M相等，所述平面透射镜与微悬臂梁一一对应； 

当M为偶数时，所述平面透射镜组第平面透射镜呈水平设置；自第平面透射镜向左呈与水平面角度递增的倾斜设置；自第平面透射镜向右亦呈角度递增的倾斜设置，且与左侧的平面透射镜倾斜方向相反；各平面透射镜之间设置遮光板； 

所述平面透射镜与水平面形成的锐夹角α(N)满足如下方程组： 

当M为奇数时，所述平面透射镜组第平面透射镜呈水平设置；自第 平面透射镜向左依次呈角度递增的倾斜设置；自第平面透射镜向右亦呈角度递增的倾斜设置，且与左侧的平面透射镜倾斜方向相反；各平面透射镜之间设置遮光板； 

所述平面透射镜与水平面形成的锐夹角α(N)满足如下方程组： 

以上式中，α(N)代表第N平面透射镜与水平面形成的锐夹角，β(N)为激光器发射的激光束照射到第N平面透射镜后的出射角；n为平面透射镜的折射率；h为平面透射镜的厚度；M为待测微悬臂梁的数量；N为平面透射镜顺序位；d为待测微悬臂梁的间距。 

2.根据权利要求1所述的一种基于多角度平面透射镜的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转扫描系统，其特征在于：所述呈直线排列的平面透射镜组替换为以步进电机的转轴为中心呈圆周排列的平面透射镜组。 

3.根据权利要求2所述的一种基于多角度平面透射镜的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转扫描系统，其特征在于：所述的平面透射镜组前方设置水平转动平台，水平转动平台为带有圆孔的遮光板，圆孔分别对应位于各平面透射镜正前方，圆孔大小使得激光器可以照射到平面透射镜，经平面透射镜后可以实现对微梁的扫描。 

4.根据权利要求3所述的一种基于多角度平面透射镜的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转扫描系统，其特征在于：所述的水平转动平台与步进电机的转动轴相连接。 

5.根据权利要求1或2所述的一种基于多角度平面透射镜的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转扫描系统，其特征在于：所述激光器为半导体激光器，激光光源为632nm-780nm范围内的单色光源。 

6.根据权利要求1或2所述的一种基于多角度平面透射镜的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转扫描系统，其特征在于：所述微悬臂梁阵列放置在溶剂池中的基体夹持台上，溶剂池通过进口管和出口管控制溶剂的进出；所述溶剂池顶部设有透明玻璃窗。 

7.根据权利要求6所述的一种基于多角度平面透射镜的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转扫描系统，其特征在于：所述基体夹持台的台面与水平面形成00-100范围内的倾角。 

8.根据权利要求6所述的一种基于多角度平面透射镜的微悬臂梁阵列传感器的微悬臂梁偏转扫描系统，其特征在于：所述溶剂池底部设有用于控制溶剂温度的恒温器。