[实用新型]隔离式搬运盒的滤膜组件

说明书

技术领域

本实用新型是有关于一种隔离式搬运盒的滤膜组件，特别关于一种可增加进气作业时的进气量及提高气密性的隔离式搬运盒的滤膜组件。

背景技术

在半导体工艺中，自动化物料搬运系统(Automated Material Handling System，AMHS)与隔离进出料标准机械介面(Standard Mechanical Interface，SMIF)设备常被用来进行晶圆(wafer)与光掩膜(photomask)于非使用期间的维护与运送，其不但能取代传统人工搬运、降低无尘室设备的建置与维护成本，还能提升晶圆与光掩膜的洁净度，达到超高生产良率，故近年来，AMHS与SMIF已被列为是国际间半导体厂的标准设备规范。

如上所述，为避免破坏晶圆或光掩膜，一般采用晶圆盒或光掩膜盒来保护晶圆或光掩膜，且于盒内充填惰性气体以防止晶圆或光掩膜产生氧化而毁损。请参阅图1、2所示，其揭示一种现有的光掩膜盒1，所述光掩膜盒1的底部具有数个可连接充气管11的填充装置12，每一填充装置12内设置有中空通道13，而中空通道13的一端为设置有开合部14，所述开合部14为由复数具弹性位移的活页所组成，并于远离开合部的另一端设置有导引斜面，利用填充装置12所设置的中空通道13及开合部14，使充气管11可在欲进行进气作业时通过开合部14而伸入光掩膜盒1内充填气体。

然而，利用所述充气管11穿入所述中空通道13，再通过所述开合部14伸入所述光掩膜盒1内的设计，其密合度仍不足，导致空气中的粉尘、细屑等异物随着充气所述光掩膜盒1内而影响其洁净度，进而危害到将光掩膜用于晶圆生产的品质和良率，再者，所述充气管11的管径受到所述中空通道13的限制也会影响对所述光掩膜盒1的充气速度及效率。

故，有必要提供一种隔离式搬运盒的滤膜组件，以解决现有技术所存在的问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种隔离式搬运盒的滤膜组件，以解决现有技术密合度不足的问题。

本实用新型的主要目的在于提供一种隔离式搬运盒的滤膜组件，利用抵靠部可密合于内环孔内侧，同时通过支撑肋的推顶，可提高滤膜组件的气密性并简化进气及出气的结构。

为达成本实用新型的前述目的，本实用新型一实施例提供一种隔离式搬运盒的滤膜组件，设置在一隔离式搬运盒的底部的一通气孔，所述滤膜组件包含一固定环、一密合件、一支撑件、一滤膜及一盖体，所述固定环包含一环状体及一内凸环，所述环状体设置在所述隔离式搬运盒的底部的通气孔且具有一环状孔，所述内凸环自所述环状体的环状孔内侧延伸，且具有一内环孔，所述密合件包含一抵靠部及一颈部，所述抵靠部可上下活动的抵靠在所述内凸环上，所述颈部自所述抵靠部向下延伸且深入所述内环孔中，其中所述颈部具有一中心轴孔，及数个径向侧孔，所述径向侧孔与所述中心轴孔连通，所述支撑件放置在所述环状体上，所述支撑件包含一支撑环及数个支撑肋，所述支撑肋自所述支撑环内侧径向向内延伸并顶抵于所述抵靠部，所述滤膜放置在所述支撑件上，所述盖体放置在所述滤膜上，且所述盖体包含数个顶部侧孔。

在本实用新型的一实施例中，所述抵靠部具有数个径向凹槽，所述支撑肋分别向下倾斜顶抵在所述径向凹槽上。

在本实用新型的一实施例中，所述固定环还具有一上凸环，自所述环状体的顶面向上延伸且具有一上环孔，所述支撑件放置在所述上环孔中。

在本实用新型的一实施例中，所述上环孔的内径大于所述环状孔的内径，所述环状孔的内径大于所述内环孔的内径。

在本实用新型的一实施例中，所述盖体的直径与所述上凸环外侧的直径相匹配。

在本实用新型的一实施例中，所述盖体的所述顶部侧孔形成在所述盖体的顶面及侧面的一交界处。

在本实用新型的一实施例中，所述抵靠部具有一圆弧状的外环面。

在本实用新型的一实施例中，所述支撑件还具有一个十字肋条，设置在所述支撑环内侧。

在本实用新型的一实施例中，所述环状体的外环面为由上而下缩径的一倾斜面。

在本实用新型的一实施例中，所述滤膜的直径与所述支撑环外侧的直径相匹配。

如上所述，本实用新型通过所述抵靠部可密合于所述内环孔内侧，同时通过所述支撑肋的推顶，提高所述滤膜组件的气密性并简化进气及出气的结构。另外，通过所述上环孔、环状孔、内环孔的设计，气体由所述通气孔通过所述径向侧孔，可有较大的空间排入所述隔离式搬运盒内部而增加在进气作业时的进气效率。

附图说明

图1是一现有的隔离式搬运盒的立体图。