[实用新型]一种用于测试光路与成像光路同轴的光路系统有效
申请号: | 201420103737.1 | 申请日: | 2014-03-10 |
公开(公告)号: | CN203732475U | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 刘召贵;牟仲财;吴升海 | 申请(专利权)人: | 江苏天瑞仪器股份有限公司 |
主分类号: | G01N23/223 | 分类号: | G01N23/223 |
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地址: | 215347 江苏省苏州市昆*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 测试 成像 同轴 系统 | ||
1.一种用于测试光路与成像光路同轴的光路系统,其特征在于,包括测试光路、成像光路、入射及反射部件,所述测试光路和所述成像光路安装在所述入射及反射部件两侧,成反射镜像对称;
所述入射及反射部件包括反射镜,所述反射镜倾斜安装且具有设置在所述反射镜中心部位的贯通通孔,测试光线由所述贯通通孔射入并进入所述测试光路;
所述测试光路包括样品台具有通孔的准直孔装置,所述样品台安装在所述测试光路的一侧,可沿安装轴线进行位置移动,所述准直孔装置安装在所述入射及反射部件和所述样品台之间;
所述成像光路包括胶合组镜组和CCD靶面,所述胶合组镜组安装在所述成像光路一侧,所述胶合组镜组中轴线与所述测试光路中轴线关于所述反射镜的法向呈镜面反射对称,所述胶合组镜组包括静胶合组镜和动胶合组镜,所述静胶合组镜固定安装,所述动胶合组镜动态安装在所述静胶合组镜和所述CCD靶面之间,可沿所述成像光路轴线进行位置移动;所述CCD靶面安装在所述胶合组镜组的后侧。
2.根据权利要求1所述的用于测试光路与成像光路同轴的光路系统,其特征在于,所述测试光路为X射线测试光路,所述成像光路为可见光成像光路。
3.根据权利要求1所述的用于测试光路与成像光路同轴的光路系统,其特征在于,所述反射镜安装在安装装置上,所述安装装置上有与所述贯通通孔相通的入射通孔。
4.根据权利要求1所述的用于测试光路与成像光路同轴的光路系统,其特征在于,所述样品台和所述反射镜反射中心距离与所述动胶合组镜和所述反射镜反射中心距离之间的关系为同向非线性关系。
5.根据权利要求1所述的用于测试光路与成像光路同轴的光路系统,其特征在于,所述准直孔装置上表面与所述反射镜反射中心部位垂直距离为大于等于10mm小于等于30mm。
6.根据权利要求1所述的用于测试光路与成像光路同轴的光路系统,其特征在于,所述通孔小于等于2mm。
7.根据权利要求1所述的用于测试光路与成像光路同轴的光路系统,其特征在于,所述准直孔装置是铅玻璃装置。
8.根据权利要求7所述的用于测试光路与成像光路同轴的光路系统,其特征在于,所述铅玻璃装置中的铅玻璃厚度为小于等于20mm。
9.根据权利要求1所述的用于测试光路与成像光路同轴的光路系统,其特征在于,所述贯通通孔直径小于等于8mm且大于等于1mm。
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