[实用新型]一种机台以及研磨装置

权利要求书

1.一种机台，用于承载基板，其特征在于，所述机台包括底座和设置在所述底座上的第一支撑部、第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部用于共同支撑所述基板，且所述第一支撑部和所述第二支撑部中的一个能够朝向或远离所述第一支撑部和所述第二支撑部中的另一个移动。

2.根据权利要求1所述的机台，其特征在于，所述底座上还设置有第三支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部设置在所述第三支撑部的相对的两侧，所述第一支撑部和所述第二支撑部能够朝向或远离所述第三支撑部移动。

3.根据权利要求2所述的机台，其特征在于，所述机台还包括电机，所述电机的输出轴与所述第三支撑部连接，用于带动所述第三支撑部旋转。

4.根据权利要求2所述的机台，其特征在于，所述第一支撑部、所述第二支撑部和所述第三支撑部中的至少一个上设置有吸盘，用于吸附所述基板。

5.根据权利要求2所述的机台，其特征在于，所述底座上还设置有升降件，所述升降件与所述第三支撑部连接，用于带动所述第三支撑部上下移动。

6.根据权利要求1所述的机台，其特征在于，所述底座上还设置有升降件，所述升降件与所述第一支撑部和第二支撑部连接，用于带动所述第一支撑部和所述第二支撑部上下移动。

7.根据权利要求5或6所述的机台，其特征在于，所述升降件包括活塞缸。

8.根据权利要求1至6中任意一项所述的机台，其特征在于，所述底座上还设置有滑轨，所述第一支撑部和所述第二支撑部设置在所述滑轨上，所述第一支撑部和所述第二支撑部能够沿所述滑轨移动。

9.根据权利要求8所述的机台，其特征在于，所述机台还包括驱动机构，所述驱动机构用于带动所述第一支撑部和所述第二支撑部沿所述滑轨移动。

10.一种研磨装置，包括研磨机和机台，其特征在于，所述机台为权利要求1至9中任意一项所述的机台。