[实用新型]用于二元气体检测的微型热导式气体传感器有效
| 申请号： | 201420109397.3 | 申请日： | 2014-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN203720132U | 公开（公告）日： | 2014-07-16 |
| 发明（设计）人： | 李永华;张星辰;曹宇 | 申请（专利权）人： | 合肥西子湾电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04;G01F1/69 |
| 代理公司： | 安徽汇朴律师事务所 34116 | 代理人： | 胡敏 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 二元 气体 检测 微型 热导式 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于二元气体检测的微型热导式气体传感器，其特征在于，包括基片衬底（1）和分别设置于基片衬底（1）上的微型加热器（2）、组分传感器（3）、流量传感器（4）和温度传感器（5）；所述微型加热器（2）、组分传感器（3）和流量传感器（4）均为悬梁结构。
2.根据权利要求1所述的用于二元气体检测的微型热导式气体传感器，其特征在于，所述微型加热器（2）、组分传感器（3）和流量传感器（4）的两端分别固定在基片衬底（1）上，中间悬空。
3.根据权利要求1所述的用于二元气体检测的微型热导式气体传感器，其特征在于，所述温度传感器（5）为折线结构。
4.根据权利要求1所述的用于二元气体检测的微型热导式气体传感器，其特征在于，所述微型加热器（2）、组分传感器（3）、流量传感器（4）均为铂电阻。
5.根据权利要求1所述的用于二元气体检测的微型热导式气体传感器，其特征在于，所述温度传感器（5）为铂金属制成。
6.根据权利要求1所述的用于二元气体检测的微型热导式气体传感器，其特征在于，所述基片衬底（1）为硅片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥西子湾电子科技有限公司，未经合肥西子湾电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420109397.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
