[实用新型]气瓶柜

说明书

技术领域

本实用新型为一种气瓶柜，尤其是指一种具有气隔件的气瓶柜。

背景技术

半导体工厂内通常设置无尘室、电力系统、供水系统、空调系统、制程气体系统及废气排放系统等，其中制程气体系统尤为重要，不论是使用于氮封、氧化、硅晶片制造、掺杂或微影蚀刻，上述制程所需要的各类气体大多具有腐蚀性、毒性或可燃性，一旦制程气体系统不稳或设计不良，将导致增加制程气体的成本，更甚者引起制程气体的外泄。

故一般半导体工厂使用气瓶柜管理制程所需气体，气瓶柜里放置高压的制程气体钢瓶，并且为一密闭空间，藉以防止火源或制程气体外泄。此外更保险的措施是于气瓶柜内或外放置一惰性气体钢瓶，在更换制程气体钢瓶时，将惰性气体瓶内惰性气体吹冲于危险气体瓶的气流管路内，使其充满惰性气体，且此惰性气体不会与制程气体产生反应，确保更换作业安全。

然而，放置于气瓶柜外的惰性气体钢瓶须额外设置其固定装置，将惰性气体钢瓶固定以免发生倾倒危险；另一方面如将惰性气体钢瓶及制程气体钢瓶置于同一气瓶柜的空间内时，将增加气瓶柜排气的排气装置成本。

因此，创作人受此启发，秉持多年相关丰富研究经验，进而研发一种新型的气瓶柜，以期带来更方便、安全且低成本的气体管理。

实用新型内容

本实用新型的一种实施方式是在提供一种气瓶柜，其应用于半导体制程，气瓶柜包含一柜体、一气隔件以及一气流管路。柜体内部具有一空间。气隔件置于柜体内，将柜体的空间区隔为一开放空间及一密闭空间，其中开放空间是用于放置半导体制程用的一惰性气体瓶，密闭空间是用于放置半导体制程用的一危险气体瓶。气流管路连接惰性气体瓶及危险气体瓶，气流管路将惰性气体瓶内的惰性气体流向密闭空间。本实用新型的气隔件阻隔柜体的空间为开放空间及密闭空间，由于密闭空间已与开放空间区隔，比惰性气体瓶及危险气体瓶放置于同一气瓶柜内的整体空间为小，密闭空间仅需设置成本较低的排气装置，藉此可减少气瓶柜的密闭空间排气的成本。

依据本实用新型的一实施例，上述实施例中还可包含一侦测器、一排气装置、一控制器及一控制面板，侦测器侦测密闭空间的一环境因素；排气装置设于气瓶柜的密闭空间；控制器控制排气装置、气流管路及侦测器，控制器用以管控惰性气体瓶内的惰性气体、危险气体瓶内的危险气体及环境因素；控制面板电性连接控制器及侦测器。上述侦测器可为一温度侦测器、压力侦测器或一火焰侦测器，环境因素可为温度或压力。上述还可包含一洒水器及一真空产生器，藉此消灭可能的火源及对气流管路抽取真空。上述还可包含一逆止阀，其装设于气流管路，逆止阀使惰性气体单向流通。上述惰性气体瓶内的惰性气体可为氮、四氟化碳、六氟乙烷、八氟环丁烷、六氟化硫、二氧化碳、氖、氪或氦。危险气体瓶内的危险气体为腐蚀性气体、毒性气体、可燃性气体或助燃性气体。

本实用新型的另一实施方式是在提供一种气瓶柜，其应用于半导体制程，气瓶柜包含一柜体、一气隔件、一柜门及一气流管路，柜体内部具有一空间；气隔件置于柜体内，将柜体的空间区隔为一可开放空间及一密闭空间，其中开放空间是用于放置半导体制程用的一惰性气体瓶，密闭空间是用于放置半导体制程用的一危险气体瓶；柜门装设于柜体，柜门用以密闭可开放空间；气流管路连接惰性气体瓶及危险气体瓶，用以将惰性气体瓶内的惰性气体导引至气流管路。

依据本实用新型的另一实施例，上述实施例中还可包含一侦测器、一排气装置、一控制器及一控制面板，侦测器侦测密闭空间的一环境因素；排气装置设于气瓶柜的密闭空间；控制器控制排气装置、气流管路及侦测器，控制器用以管控惰性气体瓶内的惰性气体、危险气体瓶内的危险气体及环境因素；控制面板电性连接控制器及侦测器。上述侦测器可为一温度侦测器、压力侦测器或一火焰侦测器，环境因素可为温度或压力。上述还可包含一洒水器及一真空产生器，藉此消灭可能的火源及对气流管路抽取为真空。上述还可包含一逆止阀，其装设于气流管路，逆止阀使惰性气体单向流通。上述惰性气体瓶内的惰性气体可为氮、四氟化碳、六氟乙烷、八氟环丁烷、六氟化硫、二氧化碳、氖、氪或氦。危险气体瓶内的危险气体为腐蚀性气体、毒性气体、可燃性气体或助燃性气体。