[实用新型]无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台

说明书

技术领域

本实用新型属于工业自动化制造领域，涉及一种工作台，尤其涉及一种广泛使用在集成电路制造、太阳能电池芯片生产线相应设备上的无铁芯直线电机构成的重负载高精度工作台。

背景技术

目前国内外的工作台一般都是导轨、丝杠组成。精度受导轨、丝杠精度的制约，同时，也深受装配工艺的限制。

直线电机是一种将电能直接转换成直线运动机械能，而不需要任何中间转换机构的传动装置。

实用新型内容

鉴于上述的现有技术中的问题，本实用新型通过使用直线电机，使工作台有较高的精度，能广泛使用在半导体制造行业的机械设备上。

为达到上述目的，具体技术方案如下：

一种无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台，包括第一直线电机、第一导轨、第一光栅尺、工作台本体和平板，所述第一导轨设于所述平板上，所述第一直线电机驱动所述工作台本体沿所述第一导轨移动，所述第一光栅尺设于所述平板上，所述第一光栅尺置于所述第一导轨的一侧，并与所述第一导轨平行。

优选的，所述平板为大理石平板。

优选的，所述直线电机包括定子和动子，所述定子和动子上还设有冷却装置。

优选的，所述冷却装置为风冷装置，所述定子上还设有气孔，所述风冷装置包括设于所述气孔上的风扇。

优选的，所述冷却装置为水冷装置。

优选的，所述冷却装置包括半导体温控元件。

优选的，所述直线电机上还设有温度传感器。

优选的，还包括设于所述平板上的第二直线电机、第二导轨和第二光栅尺，所述第二直线电机驱动所述工作台本体沿所述第二导轨移动，所述第二光栅尺设于所述第二导轨的一侧，所述第二导轨与所述第一导轨垂直。

优选的，所述第一直线电机和第二直线电机为无铁芯的直线电机。

本实用新型的技术方案的优点有：

通过使用直线电机构成了工作台，使工作台有较高的精度，能广泛使用在半导体制造行业的机械设备上。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1是本实用新型的实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

以下将结合附图对本实用新型的实施例做具体阐释。

如图1中所示的本实用新型的实施例的一种无铁芯直线电机构成重负载高精度工作台，包括设于大理石平板5上第一直线电机1、第一导轨2、第一光栅尺3、工作台本体4，以及第二直线电机6、第二导轨7和第二光栅尺8。

第一直线电机1和第二直线电机6分别驱动工作台本体4沿第一导轨2、第二导轨7移动。第一光栅尺3置于第一导轨2的一侧，并与第一导轨2平行；第二光栅尺8设于第二导轨7的一侧，并与第二导轨7平行。第二导轨7与第一导轨2垂直。

本实用新型的实施例使工作台有较高的精度，同时精度以及平整度仅仅取决于大理石平板。能广泛使用在半导体制造行业的机械设备上。

在本实用新型的实施例中，根据重负载的情况，考虑对第一直线电机1和第二直线电机6的动子和定子进行恒温处理，设有冷却装置。采取方式有3种：

1、对于负载要求不高的，采用风冷装置：在定子的下底面设有气孔，通过侧面安装的风扇来对定子散热；

2、对于中型负载的，通过安装水冷装置来保证定子和动子的温度不会太高；

3、对于重负载的情况，在安装以上两种恒温散热方法的基础上，通过在动子和定子上安装半导体温控元件来降温，同时还通过设有的温度传感器来监测动子和定子上的温度变化。免得因为温度过高而烧毁电机。同时又保证了能承载重负载、又能保证高速、高精度的要求。

以上对本实用新型的具体实施例进行了详细描述，但其只是作为范例，本实用新型并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对本实用新型进行的等同修改和替代也都在本实用新型的范畴之中。因此，在不脱离本实用新型的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本实用新型的范围内。