[实用新型]一种维持室内污染物浓度稳定的洁净室

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种维持室内污染物浓度稳定的洁净室，能够将生产车间污染物浓度稳定维持在期望范围内，可以用作为低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器厂房。

背景技术

随着电子等高新技术的发展，环境中污染物的浓度往往可能会对产品造成电性飘移或不稳定的现象。目前的应用需求，有两大类别，一种是一定要低于某一极低值，此如12寸芯片厂；另一类则是容许污染物的存在，但污染物的浓度不可以有忽大忽小或不同位置的大变异的情况，此如低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器厂房。

以下即就低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器厂房说明如下：

现有技术中，TFT LCD可分为多晶硅(Poly-Si TFT)与非晶硅(a-Si TFT)，两者的差异在于电晶体特性不同。多晶硅的分子结构在一颗晶粒（Grain）中的排列状态是整齐而有方向性的，因此电子移动率比排列杂乱的非晶硅快了200-300倍；一般所称的TFT-LCD是指非晶硅，技术成熟，为LCD 的主流产品。而多晶硅品则主要包含高温多晶硅(HTPS)与低温多晶硅(LTPS)二种产品。

低温多晶硅(Low Temperature Poly-silicon；简称LTPS)薄膜晶体管液晶显示器（LTPS-TFT LCD）是目前非常流行的一种显示器，其是在封装过程中，利用准分子镭射作为热源，镭射光经过投射系统后，会产生能量均匀分布的镭射光束，投射于非晶硅结构的玻璃基板上，当非晶硅结构玻璃基板吸收准分子镭射的能量后，会转变成为多晶硅结构，因整个处理过程都是在600℃以下完成，故一般玻璃基板皆可适用。

低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器具有高分辨率、高色彩饱和度、成本低廉的优势，被寄予厚望成为新一波的显示器。藉由其高电路整合特性与低成本的优势，在中小尺寸显示面板的应用上有着绝对的优势。LTPS-TFT LCD具有高分辨率、反应速度快、高亮度、高开口率等优点，加上由于LTPS-TFT LCD的硅结晶排列较a-Si有次序，使得电子移动率相对高100倍以上，可以将外围驱动电路同时制作在玻璃基板上，达到系统整合的目标、节省空间及驱动IC的成本。同时，由于驱动IC线路直接制作于面板上，可以减少组件的对外接点，增加可靠度、维护更简单、缩短组装制程时间及降低EMI特性，进而减少应用系统设计时程及扩大设计自由度。

总所周知的，用于半导体厂房的洁净室对于气相污染物（一般是指含B、P、硅氧化物等有机物）的浓度要求非常苛刻，例如，对于12寸晶圆厂的20nm产品，其气相污染物的浓度必修小于1ppt，因此其对洁净室的要求非常高，因此成本极高。而对于低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器厂房的洁净室而言，其对于气相污染物（一般是指含B、P、硅氧化物等有机物）的浓度并没有半导体厂房的洁净室那么苛刻，其允许气相污染物的浓度较高，但却要求整个洁净室空间内各处的污染物的浓度在某一范围内保持一定的稳定性，意即不允许某时段于洁净车间内出现污染物的浓度突然过高或持续飙高或某处浓度极高而某处浓度极低的情况。

为了过滤去除有机污染物，现有的方法都是在洁净室的天花板上的风机滤器单元(FFU)的入风口处设置化学过滤器，参加附图1所示。而对于目前常规的化学过滤器而言，初始状态时，其吸附有机污染物的效果较好，可以获得污染物浓度较低的洁净空气，但随着使用时间的延长，其除杂效果会越来越差，获得的洁净空气中的污染物浓度也越来越高。因此，从天花板上的风机滤器单元送下来的洁净空气中的污染物浓度会随着化学过滤器的使用时间的延长而越来越高，直到无法满足污染物浓度要求。此时，一般会对化学过滤器进行更换。

然而，由于低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器厂房对洁净室的要求是整个洁净室空间内各处的污染物的浓度于任何时间内能够稳定保持在一定范围内，但天花板上的风机滤器单元的化学过滤器更换，不论是全面更换或部份更换，都将导致洁净室空间内污染物的浓度突然下降或不同位置的污染物浓度产生极大差异，因此，造成极大的矛盾与产品适应调整期，对生产造成损失。

因此，开发一种能维持洁净空间内污染物浓度恒定的洁净室，对于低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器厂房或具有类似稳定污染物浓度范围的产业具有积极的现实意义。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种维持室内污染物浓度稳定的洁净室，能够将生产车间污染物浓度稳定维持在期望范围内，例如用于低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器厂房的洁净室。

为达到上述发明目的，本实用新型采用的技术方案是：一种维持室内污染物浓度稳定的洁净室，包括新风输送系统、排气系统、洁净空间和回风通道；