[实用新型]多椭圆形结构的太赫兹波带通滤波器

权利要求书

1.一种多椭圆形结构的太赫兹波带通滤波器，其特征在于包括太赫兹波输入端(1)、太赫兹波输出端(2)、基底(3)、左矩形波导(4)、椭圆列形波导(5)、中心椭圆形波导(6)、右矩形波导(7)；基底(3)的上表面设有左矩形波导(4)、两个椭圆列形波导(5)、中心椭圆形波导(6)、右矩形波导(7)，左矩形波导(4)与右矩形波导(7)分别位于基底(3)上表面的左右两侧，左矩形波导(4)的左端设有太赫兹波输入端(1)，右矩形波导(7)的右端设有太赫兹波输出端(2)，中心椭圆形波导(6)位于基底(3)上表面的中心位置处，中心椭圆形波导(6)的外侧均与两个椭圆列形波导(5)的内侧相连，左矩形波导(4)的右端部与右矩形波导(7)的左端部分别与两个椭圆列形波导(5)的外侧端部无缝隙拼接，左矩形波导(4)的左端与基底(3)的左端相连，右矩形波导(7)的右端与基底(3)的右端相连，太赫兹波从太赫兹波输入端(1)入射后从太赫兹波输出端(2)输出。 

2.根据权利要求1所述的一种多椭圆形结构的太赫兹波带通滤波器，其特征在于所述的基底(3)的长度为99～101μm，宽度为29～31μm。 

3.根据权利要求1所述的一种多椭圆形结构的太赫兹波带通滤波器，其特征在于所述的左矩形波导(4)与右矩形波导(7)的长度均为15～17μm，宽度均为3～5μm。 

4.根据权利要求1所述的一种多椭圆形结构的太赫兹波带通滤波器，其特征在于所述的椭圆列形波导(5)由两个小椭圆形波导与两个大椭圆形波导对接排列而成，其中小椭圆形波导的长轴长度为11～13μm，短轴长度为5～7μm，大椭圆形波导的长轴长度为19～21μm，短轴长度为9～11μm。 

5.根据权利要求1所述的一种多椭圆形结构的太赫兹波带通滤波器，其特征在于所述的中心椭圆形波导(6)的的长轴长度为11～13μm，短轴长度为5～7μm。 

6.根据权利要求1所述的一种多椭圆形结构的太赫兹波带通滤波器，其特征在于所述的基底(3)的材料为二氧化硅，厚度为14～16μm；左矩形波导(4)、椭圆列形波导(5)、中心椭圆形波导(6)、右矩形波导(7)的材料均为氮化硅，厚度均为2～3μm。