[实用新型]一种离子输运装置

权利要求书

1.一种离子输运装置，其特征在于，包括连接套筒、收集狭缝板、收集透镜组、矫正磁铁、分子泵和辅助收集透镜组，所述收集狭缝板上设置有收集狭缝，所述收集透镜组、矫正磁铁、分子泵和辅助收集透镜组按照离子束传输的方向依次设置在所述收集狭缝板的后侧，所述连接套筒套装在所述收集狭缝板和收集透镜组上。

2.根据权利要求1所述的离子输运装置，其特征在于，所述连接套筒为前端设有通孔、后端开口的带底筒状结构，在所述连接套筒前端面中心位置设有所述通孔。

3.根据权利要求2所述的离子输运装置，其特征在于，还包括上游真空管，所述收集透镜组套装在所述上游真空管的径向外侧。

4.根据权利要求3所述的离子输运装置，其特征在于，所述上游真空管与所述连接套筒一体形成；或者，

所述上游真空管与所述连接套筒分体形成，所述上游真空管的前端设置在所述通孔中。

5.根据权利要求2所述的离子输运装置，其特征在于，在所述连接套筒上位于所述连接套筒轴向前端和后端之间的位置设置激光靶室连接部。

6.根据权利要求2所述的离子输运装置，其特征在于，所述连接套筒的筒身部分套装在所述收集透镜组的径向外侧。

7.根据权利要求6所述的离子输运装置，其特征在于，在所述连接套筒内壁上与所述收集透镜组对应的位置设置有透镜固定装置；优选的，所述透镜固定装置与所述连接套筒一体形成或者分体形成。

8.根据权利要求7所述的离子输运装置，其特征在于，所述透镜固定装置从所述连接套筒的内壁沿径向向连接套筒的内部延伸，其径向最内端卡接在所述收集透镜组的外壁上。

9.根据权利要求7或8所述的离子输运装置，其特征在于，所述透镜固定装置为板、杆、圆环或框架结构。

10.根据权利要求9所述的离子输运装置，其特征在于，在所述连接套筒筒壁上靠近内壁的位置设置T形槽，在所述透镜固定装置与所述连接套筒连接的位置设置与所述T形槽对应的T形突起。

11.根据权利要求1所述的离子输运装置，其特征在于，在所述辅助收集透镜组的径向内侧设置有下游真空管。

12.根据权利要求3所述的离子输运装置，其特征在于，所述收集狭缝板与所述上游真空管分体形成，所述收集狭缝板设置在所述上游真空管靠近激光靶的一端；或者，

所述收集狭缝板与所述上游真空管一体形成，所述收集狭缝板位于所述上游真空管的靠近激光靶的一端。