[实用新型]OHT轨道水平自动测量工具有效
申请号: | 201420134701.X | 申请日: | 2014-03-24 |
公开(公告)号: | CN203893844U | 公开(公告)日: | 2014-10-22 |
发明(设计)人: | 金卫 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | G01C9/06 | 分类号: | G01C9/06;G08C17/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 王宏婧 |
地址: | 201203 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | oht 轨道 水平 自动 测量 工具 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种OHT轨道水平自动测量工具。
背景技术
传统的轨道水平测试的步骤比较繁琐,如图1所示,需要使用到卷尺11和水平观测仪12等各种工具,具体方法是:将卷尺1悬挂于OHT(半导体工厂天车系统)轨道13上方,通过安置于水平地面14上的水平观测仪12来确定OHT轨道13与水平地面14的水平关系,这种现有的测试方案存在的不足之处在于比较繁琐,至少需要两人同时作业,耗费大量人力,工作量大,效率不高,每测量一个点的水平预计需要30分钟,需要较多人工,不仅需要停止该段OHT轨道上使用,影响生产,而且容易漏测。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种OHT轨道水平自动测量工具,能够节约大量测试时间、人力,且无需停止OHT轨道的使用,不影响生产的正常运行。
为解决上述问题,本实用新型提供一种OHT轨道水平自动测量工具,包括:
设置于OHT小车上的水平检测仪和数据发送器,其中,所述OHT小车设于OHT轨道上,所述水平检测仪与所述数据发送器连接;
接收设备,其中,所述接收设备与数据接收器通信。
进一步的,在上述OHT轨道水平自动测量工具中,所述接收设备包括数据接收器和显示器,其中,所述数据发送器与数据接收器通信,所述数据接收器与显示设备连接。
进一步的,在上述OHT轨道水平自动测量工具中,水平检测仪为电子水平尺。
进一步的,在上述OHT轨道水平自动测量工具中,所述数据发送器为无线设备。
进一步的,在上述OHT轨道水平自动测量工具中,所述数据接收器为无线设备。
进一步的,在上述OHT轨道水平自动测量工具中,所述无线设备为WiFi设备、NFC设备和蓝牙设备中的任一种。
进一步的,在上述OHT轨道水平自动测量工具中,所述接收设备为PC。
进一步的,在上述OHT轨道水平自动测量工具中,所述接收设备为触摸平板电脑。
进一步的,在上述OHT轨道水平自动测量工具中,所述接收设备为智能手机。
进一步的,在上述OHT轨道水平自动测量工具中,所述接收设备设置于所述OHT小车的下方。
与现有技术相比,本实用新型包括:设置于OHT小车上的水平检测仪和数据发送器,其中,所述OHT小车设于OHT轨道上,所述水平检测仪与所述数据发送器连接;接收设备,其中,所述接收设备与数据接收器通信,能够实现OHT轨道水平的自动化测量,一个测试人员对一个点进行水平测量只需5分钟左右即可完成,效率明显提高,可节约大量测试时间、人力,且无需停止OHT轨道的使用,不影响生产的正常运行。
附图说明
图1是现有的OHT轨道水平测试的原理图;
图2是本实用新型一实施例的OHT轨道水平自动测量工具的结构图。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
如图2所示,本实用新型提供一种OHT轨道水平自动测量工具,包括:
设置于OHT小车21上的水平检测仪22和数据发送器23,其中,所述OHT小车21设于OHT轨道13上,所述水平检测仪22与所述数据发送器23连接;
接收设备24,其中,所述接收设备24与数据接收器23通信。具体的,这里对OHT小车21进行改造,在OHT小车21安装一个水平检测仪22,水平检测仪22和数据发送器23可由OHT小车21的电源供电,可以通过半导体工厂天车系统控制OHT小车21运行,使OHT小车21沿OHT轨道13停留于OHT轨道13的各个检测,水平检测仪22记录各个检测点的水平值,并将各个检测点的水平值通过数据发送器23发送至接收设备24,以供测试人员查看水平值数据,并通过水平值数据对相应的水平不好的OHT轨道13进行调整。例如,可设置OHT小车21每运动到OHT轨道13需要检测的点时,OHT小车21停止运动5分钟,待水平检测仪22测得的水平值数据稳定后,由数据发送器23将该点测得的水平值数据发送至接收设备24。
优选的,所述接收设备24包括数据接收器和显示器,其中,所述数据发送器23与数据接收器通信,所述数据接收器与显示设备连接。具体的,可按FAB(半导体工厂生产车间轨道)在接收设备24的显示器上生成由所有的OHT轨道13组成的地图,收到每个OHT轨道13上的各个检测点的水平值显示在该地图的对应位置上。
优选的,水平检测仪22为电子水平尺。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司,未经上海华力微电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420134701.X/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。