[实用新型]远心扫描镜头

说明书

技术领域

本实用新型涉及激光加工领域，尤其涉及用于紫外激光打微孔的远心扫描镜头。

背景技术

现有的紫外激光加工设备通常使用非远心扫描镜头，从而在加工较深位置时，一方面，孔内部深度容易倾斜，孔形也不圆；另一方面，在加工物体离焦时，被加工位置和实际需要的加工位置存在偏移，从而无法达到加工的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种远心扫描镜头，使用该远心扫描镜头可以保证孔的圆度，同时孔的加工位置也在允许的偏移范围之内。

为实现以上实用新型目的，本实用新型采用如下技术方案: 一种远心扫描镜头，用于激光打孔，所述远心扫描镜头包括依次靠近被加工物体的第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜，所述远心扫描镜头的入瞳直径为10毫米，有效镜头焦距为121.95毫米。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一透镜远离第二透镜的一侧面为凹面，靠近第二透镜的一侧面为平面，所述第二透镜靠近第一透镜的一侧面为凹面，靠近第三透镜的一侧面为凸面，所述第三透镜靠近第二透镜的一侧面为平面，靠近第四透镜的一侧面为凸面，所述第四透镜的两侧面均为凸面，所述第五透镜靠近第四透镜的一侧面为凸面，相对的另一侧面为平面。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一透镜的两个球面半径分别为-40.923毫米和354.791毫米，对应的两个厚度分别为5.000毫米和7.710毫米。

作为本实用新型的进一步改进，所述第二透镜的两个球面半径分别为-94.768毫米和-72.256毫米，对应的两个厚度分别为18.000毫米和0.500毫米。

作为本实用新型的进一步改进，所述第三透镜的两个球面半径分别为2457.454毫米和-72.650毫米，对应的两个厚度分别为22.820毫米和0.500毫米。

作为本实用新型的进一步改进，所述第四透镜的两个球面半径分别为341.579毫米和-342.776毫米，对应的两个厚度分别为12.730毫米和0.500毫米。

作为本实用新型的进一步改进，所述第五透镜的两个球面半径分别为161.983毫米和748.621毫米，对应的两个厚度分别为18.000毫米和168.825毫米。

作为本实用新型的进一步改进，所述远心扫描镜头的最大远心度为0.346度。

作为本实用新型的进一步改进，所述远心扫描镜头适用于波长为354.7纳米的激光，切趾因子为1.83，激光光束质量因子为1.2。

相较于现有技术，本实用新型的远心扫描镜头在镜头视场范围内，出射光的光轴基本垂直于被加工物体，且在加工较深位置时，孔内部深度不容易倾斜，也能保证孔的圆度，同时孔的加工位置也在允许的偏移范围之内。

附图说明

图1是本实用新型的远心扫描镜头的结构示意图。

图2是图1所示的远心扫描镜头的调制传输曲线图。

图3是图1所示的远心扫描镜头的象散，场曲，畸变图。

图4是图1所示的远心扫描镜头的镜头像差图。

图5是使用图1所示的远心扫描镜头的光学系统示意图。

具体实施方式

如图1-4所示，本实用新型的远心扫描镜头10用于激光打孔。所述远心扫描镜头10包括依次靠近被加工物体的第一透镜11、第二透镜12、第三透镜13、第四透镜14及第五透镜15。所述远心扫描镜头10的入瞳直径为10毫米，有效镜头焦距（EFL）为121.95毫米，适用波长（λ）为354.7纳米的紫外激光器。

所述第一透镜11远离第二透镜12的一侧面111为凹面，靠近第二透镜12的一侧面112为平面；所述第二透镜12靠近第一透镜11的一侧面121为凹面，靠近第三透镜13的一侧面122为凸面；所述第三透镜13靠近第二透镜12的一侧面131为平面，靠近第四透镜14的一侧面132为凸面；所述第四透镜14的两侧面141、142均为凸面；所述第五透镜15靠近第四透镜14的一侧面151为凸面，相对的另一侧面152为平面。因此，所述第一透镜11至所述第五透镜15中的每一个透镜均由两个半径组成，且该五个透镜组合在一起，才能得到一个完整的远心扫描镜头10。

所述第一透镜11至第五透镜15的具体球面半径值和厚度值请参下表。所述远心扫描镜头10的光学性能曲线图如图2-4所示。

需要说明的是，上述每个透镜的球面半径数值和厚度数值都是满足各项光学指标而设计的。