[实用新型]一种蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于：包括支架、真空烧结装置、冷凝沉积装置和电源系统，所述真空烧结装置和所述冷凝沉积装置均设置于所述支架上，所述电源系统分别与所述真空烧结装置和所述冷凝沉积装置连接，并且所述真空烧结装置的一端和所述冷凝沉积装置的一端连通。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于：所述真空烧结装置包括陶瓷炉膛和第一加热装置，所述第一加热装置与所述电源系统连接，所述第一加热装置围设于所述陶瓷炉膛外。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于：所述真空烧结装置还包括中空夹层，所述中空夹层围设于所述陶瓷炉膛外，并且所述第一加热装置设置于所述陶瓷炉膛和所述中空夹层之间。

4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于：所述冷凝沉积装置包括冷凝沉积旋转炉、第二加热装置和循环冷却装置，所述冷凝沉积旋转炉、所述第二加热装置和所述循环冷却装置均与所述电源系统连接，所述陶瓷炉膛的一端与所述冷凝沉积旋转炉的一端连通，所述循环冷却装置和所述第二加热装置均围设于所述冷凝沉积旋转炉外，并且所述循环冷却装置设置于所述冷凝沉积旋转炉和所述第二加热装置之间。

5. 根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于：所述陶瓷炉膛和所述冷凝沉积旋转炉的连接处设置有可活动挡板。

6. 根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于：所述第一加热装置设置为电阻加热装置，所述第二加热装置设置为电磁感应加热装置。

7.根据权利要求4所述的蒸镀装置，其特征在于：所述陶瓷炉膛的中心轴和所述冷凝沉积旋转炉的中心轴在同一直线上。

8.根据权利要求4至7任一项所述的蒸镀装置，其特征在于：所述陶瓷炉膛的另一端设置有第一充气阀和第一抽气阀。

9.根据权利要求8所述的蒸镀装置，其特征在于：所述冷凝沉积旋转炉的另一端设置有第二充气阀和第二抽气阀。