[实用新型]多激光平面度测量仪器

权利要求书

1.一种多激光平面度测量仪器，其特征在于：设置有架体和激光发射单元，所述架体设置有基座和用于放置测试样品的测试平台，所述基座位于所述测试平台下方，所述激光发射单元装配于所述基座，所述测试平台位于所述激光发射单元上方，激光发射单元自下方发射激光对测试平台上的测试样品进行平面度检测。

2.根据权利要求1所述的多激光平面度测量仪器，其特征在于：设置有位置调整机构，所述位置调整机构装配于所述基座，

所述位置调整机构设置有驱动单元、滑动单元、移动座和丝杆；

所述移动座活动装配于所述滑动单元，所述丝杆与所述移动座螺纹配合， 所述驱动单元驱动所述丝杆转动，所述激光发射单元固定装配于所述移动座。

3.根据权利要求2所述的多激光平面度测量仪器其特征在于：所述滑动单元设置有滑轨和与所述滑轨匹配的滑槽，所述滑轨固定于所述基座，所述滑槽固定装配于所述移动座。

4.根据权利要求3所述的多激光平面度测量仪器，其特征在于：所述驱动单元设置为马达或者气缸。

5.根据权利要求2或3或4所述的多激光平面度测量仪器，其特征在于：所述激光发射单元由多个激光发射器构成，每个激光发射器距离所述测试平台之间的间距均相等。

6.根据权利要求5所述的多激光平面度测量仪器，其特征在于：所述激光反射单元设置有三个激光发射器。

7.根据权利要求5所述的多激光平面度测量仪器，其特征在于：所述激光发射单元还设置有激光间距调节单元，所述激光间距调节单元固定装配于所述移动座，所述激光发射器装配于所述激光间距调节单元。

8.根据权利要求7所述的多激光平面度测量仪器，其特征在于：所述激光间距调节单元设置有调节板和多个激光装配治具，所述激光发射器的数量与所述激光装配治具的数量相等，每个激光发射器固定于对应的一个激光装配治具，所述调节板设置有矩形装配框，所述激光装配治具活动装配于所述矩形装配框并通过固定装置定位。

9.根据权利要求8所述的多激光平面度测量仪器，其特征在于：所述激光装配治具设置有固定部及装配部，所述装配部与所述固定部固定连接，所述激光发射器固定于所述固定部，所述装配部装配于所述调节板。

10.根据权利要求1所述的多激光平面度测量仪器，其特征在于：所述架体还设置有基准平面和多个相互之间平行的固定基准，所述固定基准一端与所述基座固定连接，所述固定基准另一端与所述基准平面固定连接，所述测试平台设置于所述基准平面。