[实用新型]一种二极管腐蚀模具有效
| 申请号： | 201420141010.2 | 申请日： | 2014-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN203760440U | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 朱灿;陈林;周斌 | 申请（专利权）人： | 贵州雅光电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 贵阳中新专利商标事务所 52100 | 代理人： | 刘楠 |
| 地址： | 550018 贵*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 二极管 腐蚀 模具 | ||
【权利要求书】：
1.一种二极管腐蚀模具，包括腐蚀板（1），其特征在于：在腐蚀板（1）上均布列阵有二极管针孔（2），在相邻二极管针孔（2）间设有液体流通孔（3）。
2.根据权利要求1所述的二极管腐蚀模，其特征在于：在腐蚀板（1）底部四周设有支腿（4），在腐蚀板（1）两侧设有用于提取腐蚀板的卡孔（5）。
3.根据权利要求1所述的二极管腐蚀模，其特征在于：二极管针孔（2）的直径尺寸比二极管管针大1mm～3mm，并二极管针孔（2）上部为倒锥形结构。
4.根据权利要求1所述的二极管腐蚀模，其特征在于：相邻二极管针孔（2）的间距（a）比二极管管帽直径大2mm～8mm。
5.根据权利要求1所述的二极管腐蚀模，其特征在于：所述腐蚀板（1）可为方形、圆形结构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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