[实用新型]检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的系统

权利要求书

1.一种检测微电子机械系统加速度传感器芯片的特性的系统，其特征在于，包括：信号采集装置和特性检测与控制装置；其中，所述信号采集装置包括振动台、振动传感器、被检测的MEMS加速度传感器芯片和检测电路，所述振动台分别与所述振动传感器和所述被检测的MEMS加速度传感器芯片刚性连接； 

所述振动台，用于在不同频率的激励信号的作用下，产生不同频率的振动； 

所述振动传感器，用于采集所述振动台的振动变化量，将所述振动变化量转换为电压信号，并将所述电压信号作为输入信号输出给所述特性检测与控制装置； 

所述被检测的MEMS加速度传感器芯片，用于测量所述振动台的振动加速度，并将所述振动加速度转换为电容变化量； 

所述检测电路，用于将所述电容变化量转换为电压信号，并将所述电压信号作为输出信号输出给所述特性检测与控制装置； 

所述特性检测与控制装置，用于根据被检测的MEMS加速度传感器芯片在不同振动频率下的输入信号和输出信号，拟合所述被检测的MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性，将所述被检测的MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性与理想状态下的MEMS加速度传感器芯片的开环频率特性进行比较，确定所述被检测的MEMS加速度传感器芯片的结构是否存在问题。 

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述信号采集装置还包括第一开关、第二开关、第三开关和第四开关，其中， 

所述第一开关的一端接所述被检测的MEMS加速度传感器芯片的上固定电极，另一端接正向驱动电压； 

所述第二开关的一端接所述被检测的MEMS加速度传感器芯片的上固定电极，另一端接地； 

所述第三开关的一端接所述被检测的MEMS加速度传感器芯片的下固定电极，另一端接负向驱动电压； 

所述第四开关的一端接所述被检测的MEMS加速度传感器芯片的下固定电极，另一端接地； 

所述第一开关和第三开关的开关状态由第一时钟信号驱动； 

所述第二开关和第四开关的开关状态由第二时钟信号驱动； 

所述第一时钟信号和第二时钟信号互补。