[实用新型]一种半导体清洗机台药液管路的排气装置

权利要求书

1.一种半导体清洗机台药液管路的排气装置，包括由所述清洗机台的药液补给槽内通向机台清洗腔的供液管，所述供液管设有供液控制阀，其特征在于，所述供液管在靠近所述供液控制阀之前的位置具有一段呈峰形曲折的结构，所述呈峰形曲折结构的峰形顶部连通排液管，所述排液管设有排液控制阀，所述排液管连通所述清洗机台的排液口；其中，所述供液控制阀、排液控制阀在不同的工作状态下具有相应的启闭组合模式，其启闭组合模式由控制模块执行；其中，当所述排液控制阀打开、所述供液控制阀关闭时，经由所述峰形曲折结构的峰形顶部向所述清洗机台的排液口排气，当所述排液控制阀关闭、所述供液控制阀打开时，经由所述峰形曲折结构向所述机台清洗腔供液。

2.如权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述供液管在靠近所述供液控制阀之前的位置具有一段呈峰形曲折的结构，所述呈峰形曲折结构的数量为2个，各所述呈峰形曲折结构的峰形顶部连通一个排液管，各所述排液管设有排液控制阀，各所述排液管连通所述清洗机台的排液口。

3.如权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述供液管在靠近所述供液控制阀之前的位置具有一段呈峰形曲折的结构，所述呈峰形曲折结构的数量为多个，各所述呈峰形曲折结构的峰形顶部连通一个排液管，各所述排液管设有排液控制阀，各所述排液管连通所述清洗机台的排液口。

4.如权利要求1～3任意一项所述的排气装置，其特征在于，所述供液管的所述呈峰形曲折结构竖直设置。

5.如权利要求1～3任意一项所述的排气装置，其特征在于，所述供液管的所述呈峰形曲折结构竖直设置，所述呈峰形曲折结构的峰形顶部连通排液管，所述排液管在靠近所述呈峰形曲折结构的位置段竖直设置，所述排液管的所述竖直设置段设有排液控制阀。

6.如权利要求2或3所述的排气装置，其特征在于，所述供液管的所述呈峰形曲折结构竖直设置，各所述呈峰形曲折结构的峰形顶部连通一个排液管，各所述排液管在靠近所述呈峰形曲折结构的位置段竖直设置，各所述排液管的所述竖直设置段设有排液控制阀；各所述排液管在所述排液控制阀之后并联接入所述清洗机台的排液口。

7.如权利要求1所述的排气装置，其特征在于，所述排液管设有排液控制阀，所述排液控制阀为气动阀，所述排液控制阀连接至进气端，所述排液控制阀与所述进气端之间的气路设有电磁阀。

8.如权利要求2或3所述的排气装置，其特征在于，各所述排液管设有排液控制阀，各所述排液控制阀为气动阀，各所述排液控制阀并联连接一电磁阀，所述电磁阀连接至进气端。

9.如权利要求7所述的排气装置，其特征在于，所述电磁阀连接控制模块。

10.如权利要求8所述的排气装置，其特征在于，所述电磁阀连接控制模块。