[实用新型]一种新型半导体激光器腔面镀膜夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体激光器工艺技术领域，特别涉及一种新型半导体激光器腔面镀膜夹具。

背景技术

大功率半导体激光器具有全固态，体积小，重量轻，长寿命，高效率，可靠性高，可调制，可稳定低压运转等特点，主要用于固体激光器的泵浦源，并在激光加工，激光焊接，激光打印的等领域有广泛应用。半导体激光器是新一代高新技术的关键元器件，在未来工业发展中占着举足轻重的作用。

作为谐振腔的解理面是半导体激光器的重要组成部分,它对于器件的可靠性有着非常重要的影响。通常的GaAs激光器其自然解理面的反射率约为32%，不是理想值，而且这种自然解理面在空气中容易氧化和遭受周围环境污染，抑制了激光器性能，特别是高功率激光器的使用寿命。而对激光器腔面进行优化镀膜，可以在一定程度上改善激光器的输出特性，提高其输出功率和使用寿命，它已经成为一种广泛应用的改善半导体激光器特性的手段之一。

因为半导体激光器单个管芯尺寸很小，通常长度为500至600微米，宽度（腔长）为1至4毫米，高度为120至130微米，所以一般在腔面镀膜时采取半导体激光器解理条形式（每个半导体激光器解理条可以解理成若干个半导体激光器单个管芯）。解理条的高度为120至130微米，宽度（腔长）为1至4毫米，长度为1至3厘米。半导体激光器镀膜夹具的设计必须解决以下基本问题：第一，由于半导体激光器本身材料很脆弱，容易被折断，所以夹具结构必须保证半导体激光器条在夹具内移动时平稳；第二，为了在大批量镀膜时保证所镀膜层的均匀性，夹具设计结构必须使半导体激光器腔面处于统一水平面；第三，夹具设计结构必须保证在腔面镀膜过程中，半导体激光器电极面被遮挡起来，防止被镀上膜；第四，夹具设计结构必须保证在半导体激光器条装条过程中不能对腔面造成损伤。因此，我们设计一种新型半导体激光器腔面镀膜夹具，此夹具设计精巧，易于加工，实用简单，操作方便，减小了装片过程中对半导体激光器条机械损伤和腔面污染，提高了半导体激光器腔面镀膜装片效率。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种用于将半导体激光器芯片装片固定并且便于进行半导体激光器腔面镀膜的新型半导体激光器腔面镀膜夹具。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种新型半导体激光器腔面镀膜夹具，包括T型栓，夹具外壳和内嵌组合模块，所述夹具外壳的中央设置有第一矩形通槽，在第一矩形通槽的中下部设置有向夹具外壳的两侧延伸的凹槽，夹具外壳的上表面与第一矩形通槽之间设置有横梁，所述横梁中间设置有贯穿横梁的贯穿通孔，所述横梁上设置有与夹具外壳垂直的、穿过贯穿通孔的第一螺孔，所述内嵌组合模块为与第一矩形通槽相契合的矩形形状，所述内嵌组合模块的中下部设置有向两侧延伸的槽型凸起；

所述内嵌组合模块嵌入所述夹具外壳内部的第一矩形通槽中，所述T型栓插入所述贯穿通孔中并用插入第一螺孔的螺钉固定。

本实用新型的有益效果是：本夹具设计精巧，易于加工，实用简单，操作方便，利用清洗，不易损坏，使用寿命常等优点。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，所述内嵌组合模块包括前置镂空凹形板，中置镂空凹形板，后置镂空凹形板和滑动模块，所述前置镂空凹形板中央设置有第二矩形通槽，所述中置镂空凹形板为U形，所述后置镂空凹形板中央设置有第三矩形通槽，所述前置镂空凹形板、中置镂空凹形板和后置镂空凹形板依次固定为一体，所述滑动模块嵌入中置镂空凹形板的中央的顶部开口的U型空腔内部，并在U型空腔内部自由滑动。

进一步，所述第二矩形通槽的边沿为向内凹的倒角形状。

进一步，所述U型空腔的两个竖边之间的距离与第二矩形通槽外层的矩形边沿上的两个长竖边的距离相同。

进一步，所述第三矩形通槽的边沿为向内凹的倒角形状。

进一步，所述第三矩形通槽外层的矩形边沿上的两个长竖边的距离与U型空腔的两个竖边之间的距离相同。

进一步，所述第二矩形通槽内层矩形与第三矩形通槽内层矩形与中置镂空模块中央形成顶部开口的U型空腔。

进一步，所述第二矩形通槽的倒角形状的边沿的中上部设置有垂直于第二矩形通槽的长竖边的第一激光器条凹槽。

进一步，所述第三矩形通槽的倒角形状的边沿的中上部设置有垂直于第三矩形通槽的长竖边的第二激光器条凹槽。

进一步，所述滑动模块包括矩形的上限制滑块和矩形的下限制滑块，所述上限制滑块的底部中央设置有凹槽，所述下限制滑块的顶部中央设置有凹槽，所述上限制滑块和下限制滑块分别在U型空腔内自由滑动。