[实用新型]TEM样品承载装置以及TEM样品放置系统

权利要求书

1.一种TEM样品承载装置，其特征在于，包括：金属网、金属网架及碳膜；所述金属网套接于所述金属网架上，并且包括多个金属网格；所述碳膜覆盖于所述金属网上；其中，所述碳膜对应每一金属网格的位置均设置有至少一样品孔。 

2.如权利要求1中任一项所述的TEM样品承载装置，其特征在于，所述样品孔是直径为7μm～10μm的圆孔。 

3.如权利要求1所述的TEM样品承载装置，其特征在于，所述样品孔周围平行金属网格四边方向依次设置有一参考孔；其中，所述参考孔设置于距离样品孔边缘5μm～10μm处。 

4.如权利要求3中所述的TEM样品承载装置，其特征在于，所述参考孔是长为5μm～7μm，宽为1μm～2μm的长方形孔。 

5.如权利要求1所述的TEM样品承载装置，其特征在于，所述金属网架表面设置有一预定方向的水平标记线。 

6.如权利要求1所述的TEM样品承载装置，其特征在于，所述金属网还包括环绕所述金属网格的圆环形框。 

7.如权利要求1所述的TEM样品承载装置，其特征在于，所述金属网为铜网、镍网或者钼网，所述金属网架为铜网架、镍网架或者钼网架。 

8.如权利要求1所述的TEM样品承载装置，其特征在于，所述金属网格为方格。 

9.一种TEM样品放置系统，其特征在于，包括如权利要求1所述的TEM样品承载装置。 

10.如权利要求9所述的TEM样品放置系统，其特征在于，还包括样品杆及与所述样品杆固定连接的样品杯；其中，所述样品杯具有开口，其底部设置有支撑部。 

11.如权利要求10所述的TEM样品放置系统，其特征在于，所述金属网通过所述金属网架置于样品杯中，所述金属网架与所述样品杯的支撑部相配合。 

12.如权利要求10所述的TEM样品放置系统，其特征在于，所述样品杯的支撑部上开有凹槽；所述金属网架包括本体及设置于所述本体的外围直径方 向上对称分布的凸出柄；其中，所述本体与所述样品杯的支撑部配合，所述凸出柄与所述样品杯的支撑部上的凹槽咬合。 

13.如权利要求9所述的TEM样品放置系统，其特征在于，所述样品孔周围平行金属网格四边方向依次设置有一参考孔；其中，所述参考孔设置于距离样品孔边缘5μm～10μm处。 

14.如权利要求12所述的TEM样品放置系统，其特征在于，所述金属网架表面设置有一预定方向的水平标记线，所述预定方向是所述样品杆的水平轴线方向。