[实用新型]对准标记

权利要求书

1.一种对准标记，用于背照式影像传感器制作过程中的对准，其特征在于，包括：

所述对准标记设置于晶圆正面，包括一对第一标记，分别位于以晶圆缺口所在直径的两侧的一个区域中，所述区域中心连线经过晶圆中心，并与所述直径呈55°夹角，所述区域靠近晶圆边缘，为沿连线方向长度小于等于11mm，垂直连线方向长度小于等于8mm的矩形，位于所述直径左侧的区域到缺口的距离小于位于右侧的区域到缺口的距离；所述第一标记包括多个第二标记。

2.如权利要求1所述的对准标记，其特征在于，所述第一标记包括多个第二标记，相邻第二标记之间的间距为大于500μm。

3.如权利要求2所述的对准标记，其特征在于，相邻第二标记呈镜像对称。

4.如权利要求2所述的对准标记，其特征在于，所述第一标记包括3个第二标记，每个第一标记中第二标记按照设定方向排列。

5.如权利要求4所述的对准标记，其特征在于，在每个第一标记中所述3个第二标记的排列方向平行于所述直径。

6.如权利要求1所述的对准标记，其特征在于，所述晶圆包括硅衬底，所述第二标记经过在所述硅衬底刻蚀出多个沟槽形成，所述沟槽的深度为