[实用新型]一种金属有机化合物的解配分离装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及解配分离装置技术领域，尤其涉及一种金属有机化合物的解配分离装置。

背景技术

高纯金属有机化合物，或叫化合物半导体微结构材料，是先进的金属有机化学气相沉积（简称MOCVD）、金属有机分子束外延（简称MOMBE）等技术生长半导体微结构材料的支撑材料，其优异的电学、光学和磁学等性能，可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。目前常用的高纯金属有机化合物主要三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、三乙基铟、二甲基乙基铟、三甲基铝、二茂镁、二乙基锌等烷基金属化合物。

由于金属有机化合物的纯度对后期半导体器件的性能影响十分巨大，因此金属有机化合物的纯化一直是一项非常关键的技术。现有技术中采用的是将由解配釜解配出来的粗制金属有机化合物直接到精馏塔精馏，粗制的金属有机化合物夹杂部分配体，这大大加大了精馏的难度，针对这一不足，该实用新型设计了一种新的解配分离装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种金属有机化合物的分离装置，采用本实用新型提供的分离装置得到的金属有机化合物具有较高的纯度。

本实用新型提供了一种金属有机化合物的解配分离装置，包括解配釜；

进料口与所述解配釜的出料口相连的分离柱；

所述分离柱设置于套管中，所述套管中设置有冷冻媒介。

优选的，所述套管的侧壁顶端设置有冷冻媒介进料口，所述套管的侧壁底端设置有冷冻媒介出料口。

优选的，所述冷冻媒介为冷冻煤油。

优选的，所述分离柱内填充有非规整填料；

所述非规整填料为不绣钢θ环填料；

所述非规整填料的尺寸为3mm×3mm～7mm×7mm。

优选的，所述非规整填料为316L不锈钢θ环填料。

优选的，所述非规整填料的比表面积为1000m²/m³～2300m²/m³；

所述非规整填料的堆积密度为260kg/L～520kg/L。

优选的，所述非规整填料在所述分离柱中的填充体积比为70%～90%。

优选的，还包括进料口与所述分离柱的出料口相连的金属有机化合物接收装置；

所述金属有机化合物接收装置设置于冷冻装置中。

优选的，所述冷冻装置包括杜瓦罐和设置于所述杜瓦罐中的液氮。

优选的，还包括进料口与所述金属有机化合物接收装置的出料口相连的尾气吸收装置。

本实用新型提供了一种金属有机化合物的解配分离装置，包括解配釜；进料口与所述解配釜的出料口相连的分离柱；所述分离柱设置于套管中，所述套管中设置有冷冻媒介。本实用新型提供的金属有机化合物的解配分离装置，在解配釜的出料口处设置有与所述解配釜相连的分离柱，且所述分离柱外壁设置有套管，所述套管中设置有冷冻媒介，从而使得从解配釜解配出来的低沸点的金属有机化合物夹带部分配体溢出至分离柱，物料经过分离柱的分离后，重组分的配体被冷凝下来回流至解配釜，气态的金属有机化合物经分离柱出口后直接被接收。采用本实用新型提供的解配分离装置对金属有机化合物进行分离时，得到的金属有机化合物中几乎不含有金属有机化合物的配体，从而使得到的金属有机化合物具有较高的纯度，且产品稳定。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的金属有机化合物的解配分离装置的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型提供了一种金属有机化合物的解配分离装置，包括解配釜；

进料口与所述解配釜的出料口相连的分离柱；

所述分离柱设置于套管中，所述套管中设置有冷冻媒介。

采用本实用新型提供的解配分离装置对金属有机化合物进行分离时，重组分的配体被冷凝下来回流至解配釜，气态的金属有机化合物经分离柱出口后直接被接收。得到的金属有机化合物中几乎不含有金属有机化合物的配体，从而使得到的金属有机化合物具有较高的纯度，且产品稳定。

参见图1，图1为本实用新型实施例提供的金属有机化合物的解配分离装置的结构示意图，其中1为解配釜，2为流量调节阀，3为套管，4为分离柱，5为杜瓦罐，6为金属有机化合物接收装置，7为真空泵，8为尾气吸收装置。