[实用新型]无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅领域，具体而言，本实用新型涉及无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的系统。

背景技术

多晶硅是一种超高纯材料，用于集成电路、电子器件和太阳能电池，是信息和新能源产业的基石，是国家鼓励优先发展的战略材料，也是国家重点鼓励发展的产品和产业。

2012年，受全球经济危机和欧盟双反影响，多晶硅市场持续低迷，如何降低多晶硅生产成本，如何提升企业的核心竞争力，成为各多晶硅企业长期持续发展的首要任务。

目前国内多晶硅的主要生产方法是改良西门子法，主要包括三氯氢硅合成、精馏提纯、还原、还原尾气干法回收和氢化五个工序。其中，精馏提纯与各工序密切相关，处理各工序物料或为各工序提供原料，因此提纯系统包括处理各种物料的不同塔组，且提纯产品纯度和杂质含量要求较高，必然需要相对较高的热量消耗，提纯工序的能耗是多晶硅系统的主要能耗之一，因此降低提纯工序的能耗是降低多晶硅成本的最有效途径之一。

目前精馏提纯有些塔组虽已采用差压热耦合，降低了能耗，但均采用串联方式，不能保证塔组内每个塔都差压热耦合，且有些塔组不具备差压热耦合条件，因此不能最大程度的降低能耗。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的系统。

根据本实用新型的一个方面，本实用新型提出了一种无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的系统，包括：

第一精馏塔和第二精馏塔，所述第一精馏塔和第二精馏塔中的每一个精馏塔均具有位于该精馏塔上的进料口、出气口、出液口、进液口和进气口；

第一再沸器和第二再沸器，所述第一再沸器和第二再沸器中的每一个再沸器均具有位于该再沸器上进液口、出气口、蒸汽进口和冷凝液出口，

第一回流泵和第二回流泵，所述第一回流泵和第二回流泵中的每一个回流泵均具有位于该回流泵上的进口和泵出口；

第一回流罐和第二回流罐，所述第一回流罐和第二回流罐中的每一个回流罐均具有位于该回流罐上的罐进口和罐出口；

一个冷凝器，所述一个冷凝器具有进气口、出液口、冷源进口和冷源出口；

其中，

所述第一精馏塔的出气口与所述冷凝器的进气口相连，所述冷凝器的出液口与所述第一回流罐的罐进口相连，所述第一回流罐的罐出口与所述第一回流泵的泵进口相连，所述第一回流泵的泵出口与所述第一精馏塔的进液口相连，以便将一部分氯硅烷冷凝液回流至所述第一精馏塔；

所述第一再沸器和第二再沸器的进液口与所述第一精馏塔和第二精馏塔的出液口相连，以便对氯硅烷塔底液的一部分进行加热再沸；所述第一再沸器和第二再沸器的出气口与所述第一精馏塔和第二精馏塔的进气口相连；

所述第二精馏塔的出气口与所述第一再沸器的蒸汽进口相连，所述第一再沸器的冷凝液出口与所述第二回流罐的罐进口相连，所述第二回流罐的罐出口与所述第二回流泵的泵进口相连，所述第二回流泵的泵出口与所述第二精馏塔的进液口相连，以便将氯硅烷冷凝液的一部分回流至所述第二精馏塔；

其中，

所述冷凝器的冷源进口与冷源相连；

所述第二再沸器的蒸汽进口与热源相连。

本实用新型上述实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的系统，第一和第二精馏塔各自有进料、塔顶采出、塔底采出，且物料之间无任何关系，进而实现了不同塔组之间的塔差压热耦合，扩大了常规串联差压热耦合塔的使用范围，在生产高纯度多晶硅的同时，将精馏提纯的能耗降到最低。

在本实用新型的一些实施例中，所述第一精馏塔和第二精馏塔的进料口分别与不同的氯硅烷供给装置相连。

附图说明

图1是根据本实用新型一个实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的系统的结构示意图。

图2是根据本实用新型另一个实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的系统的结构示意图。

图3是根据本实用新型再一个实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的系统的结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考图1详细描述本实用新型实施例的无关联塔差压热耦合提纯氯硅烷的系统。