[实用新型]一种在线锯装置中使用的滑轮及具有该滑轮的线锯装置

说明书

技术领域

本文论述的实施方式大体涉及用于线锯(wire saw)装置中的具有轮箍(tire)的滑轮。 

背景技术

线锯装置存在用于从一件硬质材料(诸如硅、石英或锗)切割块状物或砖状物(诸如半导体基板的薄片)。在此类装置中，伸展的线材由绕线管(spool)供应并且由滑轮穿过线材网隔室被导向并拉紧。可用于锯切的线材一般配备有研磨材料。研磨材料可采用浆料(slurry)形式并且浆料可在线材接触待切割的材料之前不久提供。作为另一种选择，研磨剂可以涂层形式提供在线材上。涂层一般可包含硬颗粒，诸如金刚石颗粒。硬颗粒可嵌入线材上的涂层中。在此情况下，研磨剂可稳固地耦接至线材。 

一般来说，存在以下倾向：使用薄线材以减少切割厚度并且减少切割处理期间浪费的材料的量。如之前提到的，可使用金刚石线材或涂覆金刚石的线材并且所述线材可以是非常薄的。薄线材一般在与锯切有关的高应变下更容易损坏并且可能容易断裂。此外，增加切割速度用于改善线锯装置的产量通常是可取的。给定时间量内移动一件材料穿过线材网的最大速度和最大有效线材网隔室可受到数个因素的影响，包括线材速度、待锯切的材料的硬度、干扰影响、期望的精确度和类似因素。当速度增加时，使线锯装置停止工作变得更困难。因此，避免线材在高锯切速度下损坏或断裂是关键的。 

线材锯切装置中的滑轮一般可具有轮箍，线材沿着所述轮箍在锯切装置中移动。如之前提到的，线材可为有研磨作用的，所述线材可导致轮箍磨损并且需要更换滑轮上的轮箍。更换轮箍可为昂贵的、时间密集的工艺，所述工艺导致线锯装置的停工时间(down time)。所属技术领域中需要的是容易更换的轮箍，所述轮箍为成本有效的并且减少线锯装置停工时间的量，同时降低购置(ownership)成本。 

发明内容

本文论述的实施方式大体涉及用于线锯系统中的具有轮箍的滑轮。 

在一个实施方式中，提供用于线锯装置中的滑轮。滑轮包含盘状底座构件、轮箍和盖板，所述构件具有环形伸出部和中心轴接收开口，所述轮箍具有环形形状并且设置在环形伸出部上，所述盖板耦接至底座构件并且使轮箍固定在盖板与底座构件之间。 

在另一个实施方式中，提供线锯装置。线锯装置包含切割线材、工件保持器和滑轮，所述工件保持器配置为当线材切割工件时保持所述工件，所述滑轮配置为导向线材。滑轮包含盘状底座构件、轮箍和盖板，所述构件具有环形伸出部和中心轴接收开口，所述轮箍具有环形形状并且设置在环形伸出部上，所述盖板耦接至底座构件并且使轮箍固定在盖板与底座构件之间。 

在又一个实施方式中，提供用于更换滑轮的轮箍的方法。所述方法包含以下步骤：从滑轮的底座移除盖而无需从轴移除底座，从底座移除用过的轮箍，在底座上安装新的轮箍并且把盖放回原位以将轮箍固定至底座。 

除了上述实施方式，本文披露了其它实施方式。所述滑轮进一步的特征可在于所述滑轮包含滑轮支撑件，所述滑轮支撑件配置为夹持轴或轴承。所述滑轮支撑件可沿轮箍径向向内并且可耦接至底座构件。所述轮箍可压配合至环形伸出部并且所述轮箍可滑动配合环形伸出部。所述底座构件进一步的特征可在于所述底座构件包含定位销，所述定位销与轮箍啮合。所述环形伸出部可具有面向轮箍的纹理表面，并且所述轮箍的特征可在于所述轮箍包含有纹理的外径。所述轮箍可为裂开的，并且所述轮箍的特征可在于所述轮箍包含聚氨酯。紧固件可将盖板耦接至底座构件并且紧固件可延伸穿过孔，所述孔形成为穿过所述轮箍，并且所述轮箍可夹持在盖板与底座构件之间。多个紧固件可将盖板耦接至底座构件，并且所述紧固件可被设置成沿所述轮箍径向向内。底座构件的材质可为铝或不锈钢。底座构件的材质还可以是铝和不锈钢的合金。盖板的材质可为铝或不锈钢。盖板的材质还可以是铝和不锈钢的合金。所述轮箍的特征可在于所述轮箍包含聚合物材料。所述轮箍的图案化区域可延伸超过底座构件的外周。 

附图说明

可参照实施方式(一些实施方式描绘于附图中)来详细理解本发明的上述特征结构以及上文简要概述的本发明的更特定的描述。然而，应注意，附图仅图示本发明的典型实施方式，并且因此附图不应被视为对本发明范围的限制，因为本发明可允许其他等效的实施方式。 

图1为具有适用于导向线材的多个滑轮的线锯装置的示意性俯视图。 

图2为可用于图1的线锯装置中的滑轮的透视图。 

图3为图2的滑轮的示意性分解图。 

图4为可用于线锯装置中的滑轮的另一个实施方式的透视图。 

图5为图4的滑轮的示意性分解图。