[实用新型]压力烘烤设备有效
申请号: | 201420159700.0 | 申请日: | 2014-04-03 |
公开(公告)号: | CN203787394U | 公开(公告)日: | 2014-08-20 |
发明(设计)人: | 赖智忠 | 申请(专利权)人: | 志圣工业股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人: | 张雅军 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力 烘烤 设备 | ||
1.一种压力烘烤设备,包含一烤箱、一承载箱、一连接装置、一气体循环装置,及一压力控制装置,该烤箱形成一烘烤腔室,该承载箱形成一承载腔室,该连接装置连接于该烤箱与该承载箱之间,该连接装置形成有一连通于该烘烤腔室与该承载腔室之间的通孔,该气体循环装置包括一设置于该烘烤腔室内的风扇、一设置于该承载腔室内的驱动马达,及一穿设于该通孔内的传动轴,该传动轴的两相反端分别连接于该风扇与该驱动马达,该驱动马达可通过该传动轴带动该风扇旋转,该压力控制装置包括一操控模块,及一设置于该操控模块与该烤箱之间用以控制该烘烤腔室内的压力的第一压力控制模块;其特征在于:
该压力烘烤设备还包含一气密件,该气密件套设于该传动轴上用以阻断该通孔,以防止该烘烤腔室经由该通孔与该承载腔室相连通,该压力控制装置还包括一设置于该操控模块与该承载箱之间用以控制该承载腔室内的压力的第二压力控制模块。
2.根据权利要求1所述的压力烘烤设备,其特征在于:该连接装置的通孔包括一连通于该烘烤腔室的小孔径部,及一连通于该承载腔室的大孔径部,该大孔径部的孔径大于该小孔径部的孔径,该连接装置包括一位于该小孔径部与该大孔径部之间的肩部,该气密件为一设置于该大孔径部内并抵靠于该肩部与该驱动马达之间的轴封。
3.根据权利要求2所述的压力烘烤设备,其特征在于:该驱动马达包含一与该传动轴连接的马达本体,及多片环设于该马达本体外表面且彼此相间隔的散热片。
4.根据权利要求3所述的压力烘烤设备,其特征在于:该承载箱包括一端壁、一形成于该端壁外周缘的围绕壁,及一设置于该围绕壁外壁面的导流件,该端壁与该围绕壁共同界定出该承载腔室,该围绕壁与该导流件共同界定一用以供液体流通的流道。
5.根据权利要求4所述的压力烘烤设备,其特征在于:该导流件具有一与该围绕壁外壁面相间隔的环形壁,及两个分别形成于该环形壁相反端并且连接于该围绕壁外壁面的连接端壁,该环形壁相反侧分别形成一与该流道相连通的入液口,及一与该流道相连通的排液口。
6.根据权利要求2所述的压力烘烤设备,其特征在于:该承载箱包括一端壁、一形成于该端壁外周缘的围绕壁,及一设置于该围绕壁外壁面的导流件,该端壁与该围绕壁共同界定出该承载腔室,该围绕壁与该导流件共同界定一用以供液体流通的流道。
7.根据权利要求2所述的压力烘烤设备,其特征在于:该烤箱包括一弧形端壁,该连接装置还包括一接合块,一连接板,及一接合管,该接合块具有一焊接于该弧形端壁并与该弧形端壁形状相配合的弧形连接面,及一相反于该弧形连接面的直立端面,该连接板焊接于该直立端面上,该接合管具有一锁固于该连接板的第一环部,及一锁固于该承载箱的第二环部,该接合块、该连接板及该接合管共同界定出该小孔径部,该接合管界定出该大孔径部与该肩部。
8.根据权利要求1、2、3、4、5、6或7所述的压力烘烤设备,其特征在于:该第一压力控制模块包含一设置于该烤箱的第一进气组件、一设置于该第一进气组件的第一进气阀、一设置于该烤箱的第一排气组件、一设置于该第一排气组件的第一排气阀、一设置于该烘烤腔室内用以感测该烘烤腔室内压力的第一压力感测元件,及一连接于该操控模块与该第一压力感测元件之间的第一压力控制器,该第一压力控制器用以控制该第一进气阀的启闭以及该第一排气阀的启闭,该第二压力控制模块包含一设置于该承载箱的第二进气组件、一设置于该第二进气组件的第二进气阀、一设置于该承载箱的第二排气组件、一设置于该第二排气组件的第二排气阀、一设置于该承载腔室内用以感测该承载腔室内压力的第二压力感测元件,及一连接于该操控模块与该第二压力感测元件之间的第二压力控制器,该第二压力控制器用以控制该第二进气阀的启闭以及该第二排气阀的启闭。
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