[实用新型]相变型二氧化钒薄膜结构有效
申请号: | 201420160155.7 | 申请日: | 2014-04-03 |
公开(公告)号: | CN204138748U | 公开(公告)日: | 2015-02-04 |
发明(设计)人: | 周少波 | 申请(专利权)人: | 周少波 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/46;B32B9/04;B32B17/06;B82Y40/00;B82Y30/00 |
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地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 相变 氧化 薄膜 结构 | ||
技术领域
本实用新型涉及新薄膜材料技术领域,尤其是一种可用于智能窗、节能智能玻璃、MEMS等领域的相变型二氧化钒薄膜结构。
背景技术
节能、环保、智能和安全是新材料功能材料开发的主题。在薄膜材料技术领域中,目前有很多热反射辐射材料,如日本专利JP 98-120946,德国专利 DE 19501114和中国专利公告号CN 1030142、CN 1204672、CN 1405248A、CN 1434063A。上述公开专利技术主要在传统的低红外光吸热无机涂料(如钛白粉、氧化锌、硫酸钡、氧化硅等)组合的基础上,依赖高分子成膜材料和传统无机材料反射红外光的性能实现红外隔热涂层反射红外光,但这些中红外隔热涂层的反射红外光效率不高,多数红外光反射率低于75%;红外隔热涂层只有反射红外光的功能,而在低温下没有透射红外光的作用,不具有自动调节温度的功能。
目前,对于氧化钒性质比较全面的研究最早是由贝尔实验室的F.J.Morin完成的。再次之后,随着对氧化钒性质的研究逐渐深入,发现氧化钒晶格结构和空间排列各不相同,各种晶体结构的点穴性质和光学性质也差别很大最受关注的一个相结构式相变的二氧化钒Vo2。Vo2单晶材料有优良的电学(在转换温度68℃处,在0.1℃温度变化范围内,其电阻变化可达5个数量级)、光学性能。在Vo2单晶的半导体-金属相相变属于一级相变,伴随相变单晶出现小的院子位移,但体积膨胀系数很大(约0.044%)。Vo2多晶材料在特定温度附近发生半导体-金属相转变,这种相变导致电阻率突变。据此研究的领结热敏电阻(CTR)是一种开关型温度期间。Vo2多晶薄膜的电阻率变化一般在2-4个数量级,这完全由制备条件所决定。因此,制备性能好、成本低的多晶相变氧化钒薄膜近来成为研究的热点。
发明内容
为克服现有技术的不足,本实用新型提供一种相变型二氧化钒薄膜结构。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种相变型二氧化钒薄膜结构,为多层结构,其特征是:包括基层,所述的基层上设有二氧化钒纳米薄膜层,所述的二氧化钒纳米薄膜层上设有红外透光膜层。
所述的二氧化钒纳米薄膜层为采用离子束反应溅射法沉积二氧化钒薄膜层。
所述的红外透光膜层由高折射率膜和低折射率膜蒸镀或溅射镀制而成。
作为优选的,所述的高折射率膜为Tio2薄膜,所述的低折射率膜为Sio2薄膜。
作为优选的,所述的红外透光膜层由6层膜镀组而成,由下至上依次为第一膜层、第二膜层、第三膜层、第四膜层、第五膜层、第六膜层,所述的第一、三、五膜层为Tio2薄膜,所述的第二、四、六膜层为Sio2薄膜。
作为优选的,所述的基层为玻璃基层。
本实用新型的有益效果是:以基层为玻璃基层为例,二氧化钒纳米薄膜层和红外透光膜层沉积在玻璃上形成智能窗,太阳辐射在智能窗上温度低于27℃时,红外辐射能透过智能窗;而太阳辐射在智能窗上的温度高于27℃时,红外辐射直接被反射(不能透过智能窗),从而实现控制智能窗内的温度的目的。本实用新型在高温时具有反射红外光的功能,而在低温下具有透射红外光的作用,实现了自动调节温度的目的,同时性能稳定。
附图说明
图1是本实用新型实施例的结构示意图。
图2是图1实施例中红外透光膜层的结构示意图。
图3是图1实施例中温度低于27℃时使用状态示意图。
图4是图1实施例中温度高于27℃时使用状态示意图。
具体实施方式
面结合具体实施例,进一步阐述本实用新型。应理解,这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解,在阅读了本实用新型讲授的内容之后,本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改,这些等价形式同样落在申请所附权利要求书所限定的范围。
图1,一种相变型二氧化钒薄膜结构实施例的结构示意图,其为多层结构,包括基层10、镀组在基层10上的二氧化钒纳米薄膜层20、镀组在二氧化钒纳米薄膜层20上设有红外透光膜层30。基层10为玻璃基层。本实用新型安装在窗户上构成智能窗。
二氧化钒纳米薄膜层20采用离子束反应溅射法沉积二氧化钒薄膜而成,其工艺条件为
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