[实用新型]溅射靶有效
| 申请号： | 201420160844.8 | 申请日： | 2014-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN203890432U | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 张迅;阳威;欧阳小园;易伟华 | 申请（专利权）人： | 江西沃格光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 338004 江西省新余*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 | ||
【权利要求书】：
1.一种溅射靶，其特征在于，包括背板和靶材；
所述背板为长条状，所述背板包括多段依次连接的分背板，所述分背板与相邻所述分背板的连接处设置有连接面，且所述连接面的形状与相邻所述分背板的所述连接面的形状相适配；
所述靶材为多块，所述靶材一一对应的粘贴在所述分背板上，且所述靶材的形状与所述分背板的形状相适配。
2.根据权利要求1所述的溅射靶，其特征在于，所述连接面为斜面。
3.根据权利要求2所述的溅射靶，其特征在于，所述连接面与所述背板延伸平面的夹角为15度至75度。
4.根据权利要求2所述的溅射靶，其特征在于，所述连接面上设置有阶形部。
5.根据权利要求4所述的溅射靶，其特征在于，所述阶形部包括平行于所述背板延伸平面的平行面。
6.根据权利要求1所述的溅射靶，其特征在于，所述连接面为曲面。
7.根据权利要求1所述的溅射靶，其特征在于，所述连接面为弯折面。
8.根据权利要求1至7任一项所述的溅射靶，其特征在于，所述背板的两长边处设置有台阶部。
9.根据权利要求8所述的溅射靶，其特征在于，所述分背板的材质为铜。
10.根据权利要求9所述的溅射靶，其特征在于，所述靶材和所述分背板之间设有连接层，所述连接层为铟层。
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