[实用新型]一种多晶硅端面磨床

权利要求书

1.一种多晶硅端面磨床，包括机架以及安装在机架上的驱动电机，所述的驱动电机通过丝杆机构与磨头组件连接，其特征在于，所述的磨头组件包括主轴、磨头旋转驱动机构以及磨头；所述的磨头旋转驱动机构包括支撑框、绕组、导磁块以及外壳，支撑框位于外壳的内腔，且支撑框套接在主轴外围，同时支撑框与主轴固定连接，绕组分布在支撑框与主轴之间的间隙内；外壳可旋转地套接在主轴外围，导磁块安装在外壳的内壁所设置的凸台上；所述绕组与激励电源连接，且绕组与导磁块之间磁性连接；所述主轴为空心管件，主轴的一端穿出外壳后与机架固定，主轴的另一端穿出外壳后闲置，所述主轴靠近闲置端的管壁上周向开设排水孔；磨头通过磨头连接块与外壳连接成一体，且磨头连接块与主轴闲置端之间具有容水区域，容水区域通过主轴上的排水孔与主轴内腔连通；磨头连接块开设有两条以上的喷水通道，所述的喷水通道与容水区域连通，且喷水通道的喷水口靠近磨头设置。

2.根据权利要求1所述多晶硅端面磨床，其特征在于：所述的丝杆机构包括丝杠以及连接座，丝杠以及连接座之间具有螺纹连接副；丝杠与驱动电机的动力输出端连接，连接座通过箍环与磨头组件连接，所述的箍环与磨头组件的外壳箍紧。

3.根据权利要求1所述多晶硅端面磨床，其特征在于：所述的驱动电机为步进电机。

4.根据权利要求3所述多晶硅端面磨床，其特征在于：所述机架包括一立板以及与立板下端连接的底板、与立板上端连接的顶板，步进电机固定安装在顶板上，而主轴通过衬套与顶板固定；底板上则安装用于夹持工件的夹具。