[实用新型]电泳与超声振动辅助微细铣削加工装置

权利要求书

1.一种电泳与超声振动辅助微细铣削加工装置，其特征在于包括有立式滑块（1）、微细超声主轴（2）、微细超声主轴电源发生器及控制面板（3）、电泳辅助电源（4）、微细超声平台电源发生器及控制面板（5）、运动控制系统（6）、微三维运动平台（7）、微细超声平台（8）、铣刀（10）、超微磨粒（11）、电泳辅助圆形电极（12）、工作液槽（13），铣刀（10）通过夹具安装在可旋转的微细超声主轴（2）上，微细超声主轴（2）通过夹具使铣刀（10）与微细超声主轴（2）紧密相连，微细超声主轴（2）安装在立式滑台（1）上，立式滑台（1）能够驱动微细超声主轴（2）上下运动以便于加工时进行粗对刀，微细超声平台（8）安装在工作液槽（13）中，工件（9）装设在微细超声平台（8）上，且浸没于工作液槽（13）的磨料工作液中，铣刀（10）的加工部分也同样浸没于工作液槽（13）的磨料工作液中，工作液槽（13）安装于微三维运动平台（7）上，运动控制系统（6）控制微三维运动平台（7）在X、Y、Z轴三个方向运动，且微细超声平台电源发生器及控制面板（5）与微细超声平台（8）连接，微细超声主轴（2）与微细超声主轴电源发生器及控制面板（3）连接，电泳辅助电源（4）的阳极与铣刀（10）连接，电泳辅助电源（4）的阴极与电泳辅助电极（12）连接，在铣刀（10）与电泳辅助电极（12）之间形成辅助电场，使工作液中的超微磨粒（11）在电场力的作用下吸附到铣刀（10）附近或直接附着在铣刀（10）的刀刃上。

2.根据权利要求1所述的电泳与超声振动辅助微细铣削加工装置，其特征在于上述微细超声主轴（2）及微细超声平台（8）分别在微细超声主轴电源发生器及控制面板（3）和微细超声平台电源发生器及控制面板（5）的控制下带动铣刀（10）和工件（9）产生超声振动，微细超声主轴（2）及微细超声平台（8）能同时产生超声振动，或能独立产生超声振动。

3.根据权利要求1所述的电泳与超声振动辅助微细铣削加工装置，其特征在于上述铣刀（10）为普通微细加工所用微铣刀。

4.根据权利要求1所述的电泳与超声振动辅助微细铣削加工装置，其特征在于上述电泳辅助电源（4）为可调直流电源。

5.根据权利要求1至4任一项所述的电泳与超声振动辅助微细铣削加工装置，其特征在于上述作液槽（13）通过辅助夹具（14）安装于微三维运动平台（7）上。

6.根据权利要求5所述的电泳与超声振动辅助微细铣削加工装置，其特征在于上述微三维平台（7）的最小分辨率为0.1微米。

7.根据权利要求5所述的电泳与超声振动辅助微细铣削加工装置，其特征在于上述工件（9）为金属或非金属难加工材料。