[实用新型]石英舟运载装置和硅片扩散设备

权利要求书

1.一种石英舟运载装置，其特征在于，包括：

机身（10）；

用于运载石英舟的移动部（20），可移动地设置在所述机身（10）上；

第一标识部（30），设置在所述移动部（20）上；

第二标识部（40），设置在所机身（10）的预设位置处，所述第一标识部（30）在所述移动部（20）停止在所述预设位置的情况下与所述第二标识部（40）相对应。

2.根据权利要求1所述的石英舟运载装置，其特征在于，所述第一标识部（30）上具有第一标识线（301），所述第二标识部（40）上具有用于指示与所述第一标识线（301）对应的第二标识线（401）。

3.根据权利要求1所述的石英舟运载装置，其特征在于，所述机身（10）上设置有多个所述预设位置，每个所述预设位置处分别设置有一个所述第二标识部（40）。

4.根据权利要求3所述的石英舟运载装置，其特征在于，所述石英舟运载装置包括与多个所述第二标识部（40）一一对应的多个所述第一标识部（30），多个所述第一标识部（30）均设置在所述移动部（20）上。

5.根据权利要求1所述的石英舟运载装置，其特征在于，所述第一标识部（30）突出于所述移动部（20）的表面。

6.根据权利要求1所述的石英舟运载装置，其特征在于，所述第一标识部（30）可拆卸的设置在所述移动部（20）上。

7.根据权利要求6所述的石英舟运载装置，其特征在于，所述第一标识部（30）由磁铁制成。

8.根据权利要求1所述的石英舟运载装置，其特征在于，所述第一标识部（30）包括相互连接的第一段（31）和第二段（32），所述第一段（31）与所述第二段（32）分别设置在所述移动部（20）的两个侧面上。

9.根据权利要求8所述的石英舟运载装置，其特征在于，所述第一段（31）垂直于所述第二段（32）。

10.根据权利要求1所述的石英舟运载装置，其特征在于，所述第二标识部（40）是胶带。

11.一种硅片扩散设备，包括用于承载硅片的石英舟和用于运输所述石英舟的石英舟运载装置，其特征在于，所述石英舟运载装置是权利要求1至10中任一项所述的石英舟运载装置。