[实用新型]常压微辉光放电解吸质谱离子源及其构成的质谱分析装置

权利要求书

1.一种常压微辉光放电解吸质谱离子源，其特征在于，主要包括在绝缘材质基体件（1）上加工出来的微等离子体发生腔（6）、固定设置在微等离子体发生腔壁面上用于击穿工作气产生放电的一对电极（2）和固定在微等离子体发生腔进口端用于连接工作气引入系统的气路转换接头（3），所述电极与可提供电压在80～3000V可调的直流稳压电源连接。

2.根据权利要求1所述的常压微辉光放电解吸质谱离子源，其特征在于，所述微等离子体发生腔（6）的断面形状为矩形管腔，管腔断面的高度或宽度之一不大于1毫米。

3.根据权利要求2所述的常压微辉光放电解吸质谱离子源，其特征在于，所述电极为片状电极，两片电极面对面地固定设置在微等离子体发生腔内两壁面距离不大于1毫米的两壁面上。

4.根据权利要求3所述的常压微辉光放电解吸质谱离子源，其特征在于，所述微等离子体发生腔用于固定片状电极的壁面在垂直于流道方向的尺寸不小于1毫米。

5.根据权利要求1至4之一所述的常压微辉光放电解吸质谱离子源，其特征在于，所述电极固定设置在微等离子体发生腔内距离其喷出口不大于于10毫米的位置处。

6.根据权利要求5所述的常压微辉光放电解吸质谱离子源，其特征在于，所述电极的材质为导电金属材料，所述基体件的材质为陶瓷、聚四氟乙烯、石英或电木。

7.由权利要求1至6之一所述常压微辉光放电解吸质谱离子源构成的质谱分析装置，其特征在于，包括工作气引入系统、所述常压微辉光放电解吸质谱离子源、直流稳压电源、质谱仪和质谱数据处理系统，所述常压微辉光放电解吸质谱离子源通过其管路转换接头与工作气引入系统连接，其电极与所述直流稳压电源正负极连接构成回路，所述质谱仪与所述质谱数据处理系统连接，所述直流电源为电压可在80～3000V范围调节的直流稳压电源，质谱分析装置使用时，其质谱离子源的微等离子体发生腔喷出口与所述质谱仪等离子体气进口对着位于它们之间的样品。

8.根据权利要求7所述的常压微辉光放电解吸质谱分析装置，其特征在于，所述常压解吸质谱离子源安装在可在垂直面0～90°范围旋转的垂直旋转台上，所述旋转台安装在3维平移台上，以便于调节常压解吸质谱离子源微等离子体发生腔喷出口与样品、质谱仪等离子体气进口之间的相对位置，使从等离子体发生腔喷出口喷出的等离子体气对准待测样品。

9.根据权利要求7所述的常压微辉光放电解吸质谱分析装置，其特征在于所述工作气引入系统设置有气体流量控制器，以保证工作气体的流速被控制在0.5L/min～2.5L/min范围。

10.根据权利要求7所述的常压微辉光放电解吸质谱分析装置，其特征在于，所述直流稳压电源为电压可在200～500V范围调节的直流稳压电源。