[实用新型]基于MEMS技术的原子气体腔器件有效
| 申请号： | 201420171385.3 | 申请日： | 2014-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN203950129U | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 许磊;刘建勇;王光池;郑林华;齐步坤;王晓东 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
| 主分类号： | G04F5/14 | 分类号： | G04F5/14;B81B1/00;B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 合肥金安专利事务所 34114 | 代理人： | 金惠贞 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 mems 技术 原子 体腔 器件 | ||
【权利要求书】：
1.基于MEMS技术的原子气体腔器件，所述原子气体腔器件具有典型的三明治结构，包括中间层为中部具有通孔的硅片，硅片的一侧面设有顶层玻璃，另一侧面设有底层玻璃，其特征在于：所述通孔的横截面为平行四边形，平行四边形的通孔的两侧壁为平行的斜面；所述通孔两侧斜面的侧壁上分别设有反射镜。
2.根据权利要求1所述的基于MEMS技术的原子气体腔器件，其特征在于：所述通孔两侧斜面的侧壁由硅的各向异性湿法腐蚀形成，通孔的侧壁为硅片的{111}晶面，且与顶层玻璃或底层玻璃的夹角为54.7度。
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