[实用新型]一种压电致振式微流体泵送装置

权利要求书

1.一种压电致振式微流体泵送装置由压盖（6）、进水孔（2)、进水控制部分（1）、驱动部分（4）、出水控制部分（8）、出水孔（5）、闷盖（7）和连接螺栓（3）组成，泵送装置的支撑体（102）在压盖（6）和闷盖（7）之间，四周通过连接螺栓（3）固定连接，工作时液体由进水孔（2）流入装置，经过进水控制部分（1）、驱动部分（4）和出水控制部分（8）流出出水孔（5），完成流体的整个流动过程，进水孔（2）与进水管固定连接，完成液体由外部流入泵送装置的过程，出水孔（5）与出水管固定连接，完成液体由泵送装置流出外部的过程，进水控制部分（1）和出水控制部分（8）完成液体流入和流出的控制，驱动部分（4）产生流体泵送的驱动力，通过施加高低电平的控制信号和驱动信号，使得进水控制阀（105）和出水控制阀（804）主动的打开和关闭，压电泵送振子（405）周期性的向内和向外运动，泵送腔（404）的容积产生时大时小的周期性变化，形成对液体的泵送能力，使得液体按照工作要求做定向流动。

2.根据权利要求1所述的一种压电致振式微流体泵送装置，其特征在于进水控制部分（1）和出水控制部分（8），进水控制部分（1）为液体流入泵送装置的控制部分，包括进水控制阀（105）、控制阀座（104）、控制阀腔（103）、支撑体（102）和分隔膜（101），进水控制阀（105）和控制阀座（104）之间为控制阀腔（103），用于液体进入装置的流动通道，出水控制部分（8）为液体流出泵送装置的控制部分，包括出水控制阀（804）、控制阀座（805）、控制阀腔（802）、支撑体（801）和分隔膜（803），出水控制阀（804）和控制阀座（805）之间为控制阀腔（802），用于液体流出装置的流动通道，进水控制阀（105）和出水控制阀（804）由压电振子和金属基板组成，其中压电振子的材料为锆钛酸铅压电陶瓷，金属基板的材料为铍青铜，压电振子用环氧双组份金属专用胶粘贴在金属基板的两侧，分隔膜（101）为低弹性模量的硅胶膜，用环氧双组份金属专用胶粘贴在金属基板上，进水控制阀（105）和出水控制阀（804）的控制方式采用方波电压控制信号，且电压相位差为180度，通过在进水控制阀（105）和出水控制阀（104）上施加方波控制信号，能使其主动开启和闭合，主动的完成了液体的流入和泵出过程，有效的遏制液体回流现象和降低驱动力损失，且当进水控制阀（105）和出水控制阀（805）的方波控制信号的极性反接时可实现流体的双向泵送。

3.根据权利要求1所述的一种压电致振式微流体泵送装置，其特征在于驱动部分（4），包括泵送振子（405）、密封圈（402）、分隔膜（403）、支撑体（401）和泵送腔（404），泵送振子（405）由压电振子和金属基板组成，其中压电振子的材料为锆钛酸铅压电陶瓷，金属基板的材料为铍青铜，压电振子用环氧双组份金属专用胶粘贴在金属基板的两侧，泵送振子（405）和支撑体（401）之间为泵送腔（404），当给泵送振子（405）施加正弦驱动信号时，泵送腔（404）的容积大小周期性交替变化，形成对液体的驱动力，使液体能够根据工作要求做定向流动，泵送振子（405）与支撑体（401）之间垫有密封圈（402），以防止液体渗漏，分隔膜（101）为低弹性模量的硅胶膜，用环氧双组份金属专用胶粘贴在金属基板上，驱动部分（4）的驱动信号采用正弦电压驱动信号，正向泵送时进水控制阀（105）和泵送振子（405）的电压相位差为70度，反向泵送时进水控制阀（105）和泵送振子（405）的电压相位差为250度。