[实用新型]一种新型的蚀刻机有效
申请号: | 201420173463.3 | 申请日: | 2014-04-11 |
公开(公告)号: | CN203754810U | 公开(公告)日: | 2014-08-06 |
发明(设计)人: | 孟建华 | 申请(专利权)人: | 孟建华 |
主分类号: | C23F1/08 | 分类号: | C23F1/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 350600 福建省漳*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 蚀刻 | ||
1.一种新型的蚀刻机,包括机架及安装在机架上的缸体、管路系统、水泵、过滤器和控制阀,所述的水泵固定在缸体上并连通,水泵通过管路系统与过滤器连通,过滤器通过管路系统与控制阀连接,其特征在于:所述的机架内设有上喷淋架、下喷淋架、偏心轮装置及摇摆电机,所述的上喷淋架、下喷淋架均设有喷管和喷嘴,该喷管为横向结构,所述的控制阀下端设有软管,该软管与喷管管道连接,所述的上喷淋架与下喷淋架相互平行,且两者分别与偏心轮装置固定连接,偏心轮装置通过转轴与摇摆电机活动连接,所述的上喷淋架、下喷淋架之间设有一个以上排列整齐的传动滚轮片,所述传动滚轮片上设有若干个上档水辘。
2.根据权利要求1所述的一种新型的蚀刻机,其特征在于:所述的控制阀上设有压力表。
3.根据权利要求1或2所述的一种新型的蚀刻机,其特征在于:所述的缸体内设有钛发热管和钛冷却管。
4.根据权利要求1所述的一种新型的蚀刻机,其特征在于:所述的机架上还设有手动调压器。
5.根据权利要求3所述的一种新型的蚀刻机,其特征在于:所述的缸体上设有玻璃盖和循环泵。
6.根据权利要求1所述的一种新型的蚀刻机,其特征在于:所述的上喷淋架、下喷淋架对应的两端分别设有用于清除有害气体的排气系统和用于方便安装或拆卸上、下喷淋管的密封系统。
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