[实用新型]一种新型的蚀刻机有效

专利信息
申请号: 201420173463.3 申请日: 2014-04-11
公开(公告)号: CN203754810U 公开(公告)日: 2014-08-06
发明(设计)人: 孟建华 申请(专利权)人: 孟建华
主分类号: C23F1/08 分类号: C23F1/08
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 350600 福建省漳*** 国省代码: 福建;35
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 新型 蚀刻
【权利要求书】:

1.一种新型的蚀刻机,包括机架及安装在机架上的缸体、管路系统、水泵、过滤器和控制阀,所述的水泵固定在缸体上并连通,水泵通过管路系统与过滤器连通,过滤器通过管路系统与控制阀连接,其特征在于:所述的机架内设有上喷淋架、下喷淋架、偏心轮装置及摇摆电机,所述的上喷淋架、下喷淋架均设有喷管和喷嘴,该喷管为横向结构,所述的控制阀下端设有软管,该软管与喷管管道连接,所述的上喷淋架与下喷淋架相互平行,且两者分别与偏心轮装置固定连接,偏心轮装置通过转轴与摇摆电机活动连接,所述的上喷淋架、下喷淋架之间设有一个以上排列整齐的传动滚轮片,所述传动滚轮片上设有若干个上档水辘。

2.根据权利要求1所述的一种新型的蚀刻机,其特征在于:所述的控制阀上设有压力表。

3.根据权利要求1或2所述的一种新型的蚀刻机,其特征在于:所述的缸体内设有钛发热管和钛冷却管。

4.根据权利要求1所述的一种新型的蚀刻机,其特征在于:所述的机架上还设有手动调压器。

5.根据权利要求3所述的一种新型的蚀刻机,其特征在于:所述的缸体上设有玻璃盖和循环泵。

6.根据权利要求1所述的一种新型的蚀刻机,其特征在于:所述的上喷淋架、下喷淋架对应的两端分别设有用于清除有害气体的排气系统和用于方便安装或拆卸上、下喷淋管的密封系统。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于孟建华,未经孟建华许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420173463.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top