[实用新型]衰减带通滤光片

说明书

技术领域

本实用新型涉及光学薄膜技术领域，尤其是一种衰减带通滤光片。

背景技术

带通滤光片是一种应用非常广泛的薄膜器件，其主要作用是对光进行光谱选择，使需要的光通过，不需要的光截止，常用的带通滤光片分为窄带滤光片和宽带滤光片。光束通过滤光片，对在带通滤光片的通带范围内要求透光能量按特定比例衰减，得到一定数值透过率稳定的、光学性能好的滤光效果，这种滤光片我们约定称为衰减带通滤光片。

目前的衰减带通滤光片，一般由带通滤光片和光学衰减片组合在一起使用，达到衰减滤光的目的，但该类产品主要存在以下不足：

（1）带通滤光片加光学衰减片组合使用，增加系统负担使系统不紧凑，同时使系统的光学损耗增加；

（2）两片组合使用增加制造成本；

（3）对衰减的透过率在50%～90%要求的滤光片比较容易制备，但对衰减的透过率在10%～50%要求的滤光片很难实现，对于衰减的透过率低于10%的就更难实现。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种衰减带通滤光片，该衰减带通滤光片结构紧凑、制作成本低，而且能够更大范围的满足衰减透过率要求。

为了解决上述技术问题，本实用新型包括基片，所述衰减带通滤光片结构为：

αM(0.5H L0.5H)^m/基片/(0.5L H0.5L)ⁿ

其中(0.5L H0.5L)ⁿ为长波通滤光膜系，(0.5H L0.5H)^m为短波通滤光膜，M为衰减匹配层，H代表光学厚度为λ/4的高折射率材料TiO₂层，其折射率在2.0-2.5之间；L代表光学厚度为λ/4的低折射率SiO₂层，其折射率在1.4-1.6之间；α为膜层厚度系数，m、n为整数。

优选地，所述基片为玻璃片。

优选地，所述衰减匹配层为镍铬合金层。

本实用新型在不改变带通滤光膜的基本结构的前提下，加入一层衰减匹配层，实现了在通带衰减透过率的目的，设计的衰减带通滤光膜具有对膜层厚度误差不敏感的特性，便于制备。

附图说明

图1为衰减带通滤光片的结构示意图；

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进行详细的说明，所列举的实施例，只是用于帮助理解本实用新型，不应理解为对实用新型保护范围的限定，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理和思想的前提下，还可对本实用新型进行改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求保护的范围。

如图1所示，本实用新型包括基片1，所述基片1优选为K9、BK7等玻璃片，所述基本1的两面分别镀制有长波通滤光膜系2和短波通滤光膜系3，所述长波通滤光膜系2的一面镀制有衰减匹配层4，所述衰减匹配层4优选为镍铬合金层，形成如下结构的衰减带通滤光片：

αM(0.5H L0.5H)^m/基片/(0.5L H0.5L)ⁿ

其中(0.5L H0.5L)ⁿ为长波通滤光膜系2，(0.5H L0.5H)^m为短波通滤光膜系3，M为衰减匹配层4，H代表光学厚度为λ/4的高折射率材料TiO₂层，其折射率在2.0-2.5之间；L代表光学厚度为λ/4的低折射率SiO₂层，其折射率在1.4-1.6之间；α为膜层厚度系数，可根据公式进行估算并试验验证，其中T₀为本实用新型所述衰减带通滤光片要求的透过率，T₁为本实用新型没有镀制衰减匹配层4前要求的透过率，k为衰减层的消光系数且随着厚度的增加而变大；m、n值根据带通滤光片的截止深度确定，一般取5-12之间的整数。