[实用新型]基于微小流量检测气源控制装置有效
| 申请号： | 201420179368.4 | 申请日： | 2014-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN203772372U | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 塔依尔·斯拉甫力;梁芳;黄湘来;蔡勤;钟伟 | 申请（专利权）人： | 新疆维吾尔自治区计量测试研究院 |
| 主分类号： | G01F25/00 | 分类号： | G01F25/00 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 刘洪京 |
| 地址： | 830013 新疆维吾尔*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 微小 流量 检测 控制 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于微小流量检测气源控制装置，其特征在于：包括与气源连接的压力调节阀和流量调节装置，该压力调节阀与该流量调节装置连通，该流量调节装置由连通的质量流量计和流量调节阀构成。
2.如权利要求1所述基于微小流量检测气源控制装置，其特征在于：所述流量调节装置为并联设置的两个。
3.如权利要求2所述基于微小流量检测气源控制装置，其特征在于：该两个流量调节装置的流量分别控制为小于100ml/min、大于100ml/min小于6L/min。
4.如权利要求1所述基于微小流量检测气源控制装置，其特征在于：所述压力调节阀的出口压力为5～10kPa。
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