[实用新型]基于表面等离子共振的光纤多点微位移传感装置

权利要求书

1.基于表面等离子共振的光纤多点微位移传感装置，其特征在于包括一个宽带光源，两根单模传输光纤，一个偏振器，一根单模传感光纤，多个位移探针，多个敏感区，一个光谱仪；所述宽带光源经传输光纤与偏振器连接；所述传感光纤经耦合器与传输光纤连接；所述敏感区是在传感光纤的多个区域上通过腐蚀处理，去除光纤包层，将纤芯裸露在外制作；所述位移探针是在多个经端面切平处理的单模光纤端面分别镀上均匀且厚度不同的金膜制作；空气腔是指位移探针与传感光纤敏感区之间几十纳米宽的空气带隙。