[实用新型]光束均匀化装置有效
| 申请号： | 201420195049.2 | 申请日： | 2014-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN203858418U | 公开（公告）日： | 2014-10-01 |
| 发明（设计）人： | 罗新华;汤兆胜;曾丽;金永军;孙玉琴 | 申请（专利权）人： | 上海兆九光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/10 | 分类号： | G02B27/10 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201600 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光束 均匀 化装 | ||
1.光束均匀化装置，其特征在于，包括至少一个基片；所述基片包括至少两个分光面；当入射光束照射于所述基片时，所述入射光束透射分光面后形成第一光束、经分光面反射后形成第二光束；所述第一光束与所述入射光束传输方向相同；所述第二光束与所述入射光束具有一夹角；所述至少两个分光面按照第二光束的传输方向排列。
2.根据权利要求1所述的光束均匀化装置，其特征在于，所述多个分光面相互平行，沿直线排列。
3.根据权利要求1所述的光束均匀化装置，其特征在于，所述分光面设有分光膜。
4.根据权利要求1所述的光束均匀化装置，其特征在于，所述基片由多个棱镜组成；所述分光面位于相邻两个棱镜的接触面上；所述分光面上设置有分光膜。
5.根据权利要求1所述的光束均匀化装置，其特征在于，所述基片包括至少两个分光镜；每个所述分光镜包括两个直角棱镜；所述两个直角棱镜的斜面接触；所述分光膜设置于组成一个分光镜的两个直角棱镜中其中一个或两个的所述斜面上。
6.根据权利要求5所述的光束均匀化装置，其特征在于，所述直角棱镜为等腰直角棱镜。
7.根据权利要求5所述的光束均匀化装置，其特征在于，所述直角棱镜的直角面上设置有增透膜。
8.根据权利要求1所述的光束均匀化装置，其特征在于，所述两个以上的分光面的分光率不同。
9.根据权利要求1所述的光束均匀化装置，其特征在于，所述夹角为90°。
10.根据权利要求1所述的光束均匀化装置，其特征在于，包括两个所述基片；两个所述基片对称地设置；两个基片上的分光面对所述入射光束的反射方向相反。
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