[实用新型]一种砂浆循环过滤供给装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种线切割设备，特别是用于线切割设备的砂浆循环过滤供给装置。 

背景技术

硅单晶片是一种重要的半导体材料，生产硅单晶片首先要通过单晶炉生产出硅单晶棒，再通过线切割工序加工出硅单晶片产品。在硅片线切割工序中，砂浆对硅片的切割质量起着重要作用。随着近年来的线切割技术的工艺改进和企业降低成本，在硅单晶棒的线切割加工工序，切割使用的砂浆不断被回收再利用，而回收的砂浆中不可避免的混有大量杂质，砂浆中混入的杂质，极易造成切割中跳线、线痕和断线事故的发生。目前，由于线切割机本身没有对砂浆的过滤装置，而是采用切割回流时在砂浆缸上设置一个滤网对回流的砂浆进行简单过滤。这种过滤方法很难彻底去除砂浆中掺入的杂质，给生产造成了事故隐患，并且由于过滤网不易清理，增加人力的投入。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术之弊端，提供一种可彻底过滤砂浆中杂质从而提高线切割质量的砂浆循环过滤供给装置。 

本实用新型所述问题是以下述技术方案实现的： 

一种单砂浆循环过滤供给装置，包括连接线切割机的砂浆缸，特别之处是：所述装置设有砂浆过滤罐，砂浆缸经砂浆泵和管路连通砂浆过滤罐的进口筒，砂浆过滤罐设有砂浆输出泵，砂浆输出泵经管路连接线切割机，砂浆过滤罐设有过滤结构。

上述砂浆循环过滤供给装置，所述过滤结构由上至下设置为滤袋、第一滤网、第二滤网，滤袋固定在进口筒下部，进口筒插接在砂浆过滤罐的上盖处；第一滤网、第二滤网分别设置在第一滤框、第二滤框处，第一滤框、第二滤框位于砂浆过滤罐内，其位置对应滤袋。 

上述砂浆循环过滤供给装置，所述砂浆过滤罐内的上部区域设有隔板，所述过滤结构设置在隔板一侧，在隔板另一侧设有砂浆输出泵吸管和搅拌轴，搅拌轴与搅拌电机传动连接，搅拌轴下部设有搅拌叶片，搅拌电机固定在砂浆过滤罐的上盖处。 

上述砂浆循环过滤供给装置，所述第一滤框、第二滤框为半圆形，第一滤框、第二滤框的一端与砂浆过滤罐铰接，第一滤框、第二滤框的另一端设有锁环，砂浆过滤罐上设有固定环，插杆穿过锁环、固定环将第一滤框、第二滤框锁闭。 

上述砂浆循环过滤供给装置，所述砂浆过滤罐上部为圆柱体形、下部为球形，所述搅拌叶片为与砂浆过滤罐下部球形弧度匹配的弧形叶片。 

本实用新型针对解决彻底过滤砂浆杂质问题进行了改进，设计了一种砂浆循环过滤供给装置。所述装置将增设的砂浆过滤罐与砂浆缸、线切割机由管路连接，切割使用过的砂浆排入砂浆缸，然后泵入砂浆过滤罐充分过滤杂质后，再回输到线切割进使用。砂浆在砂浆过滤罐中需经过三重过滤，可以将砂浆中的杂质彻底清除，保证线切割机使用高质量的砂浆，避免因砂浆中的杂质影响切割质量。此外，本实用新型过滤结构很便于清理和更换滤网，在实际生产中可定期清理滤网和滤袋，以保证过滤效果。 

附图说明

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。 

图1是本实用新型的结构示意图； 

图2是砂浆过滤罐的结构示意图；

图3是图2的A-A剖视图；

图4是图2的左视图。

图中各标号清单为：1、砂浆过滤罐，2、第二滤框，2-1、第二滤网，3、第一滤框，3-1、第一滤网，4、上盖，5、进口筒，6、搅拌电机，7、砂浆输出泵，8、砂浆泵，9、砂浆缸，10、线切割机，11、滤袋，12、隔板，13、搅拌轴，14、砂浆输出泵吸管，15、搅拌叶片，16、固定环，17、插杆，18、锁环。 

具体实施方式

参看图1，本实用新型包括线切割机10的砂浆缸9，线切割机与砂浆缸由管路连接，线切割机使用过的砂浆排入砂浆缸中。为解决砂浆彻底过滤问题，本实用新型设置了砂浆过滤罐1，砂浆过滤罐上部为圆柱体形、下部为球形，砂浆缸的砂浆经砂浆泵8和管路由砂浆过滤罐的进口筒5通入砂浆过滤罐，将使用过的砂浆泵入砂浆过滤罐进行深度过滤，经过滤的砂浆再经过砂浆输出泵7输出到线切割机。 

参看图2，砂浆过滤罐设有过滤结构，过滤结构对砂浆由上至下进行三重过滤。第一重过滤为滤袋11，滤袋固定在进口筒5下部，进口筒插接在砂浆过滤罐的上盖4处，滤袋对砂浆进行粗过滤，进口筒5可以方便的取下，以清理滤袋11内的杂质。在滤袋下部设置第一滤网3-1，第一滤网固定在第一滤框3处，第一滤网对砂浆进行第二重过滤。经第一滤网过滤的砂浆，再进入第二滤网2-1进行经过滤，第二滤网固定在第二滤框2处，第一滤框、第二滤框均位于砂浆过滤罐内。