[实用新型]一种直拉式单晶炉用取晶运晶装置有效
申请号: | 201420202347.X | 申请日: | 2014-04-23 |
公开(公告)号: | CN203923450U | 公开(公告)日: | 2014-11-05 |
发明(设计)人: | 王保胜;翟胜涛;孙喜良 | 申请(专利权)人: | 特变电工新疆新能源股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30;C30B29/06 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 罗建民;邓伯英 |
地址: | 830011 新疆维吾尔自治*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 直拉式单晶炉用取晶运晶 装置 | ||
1.一种直拉式单晶炉用取晶运晶装置,其特征在于,包括固定单元、旋转单元、平移单元和升降单元,
所述固定单元能够固定直拉式单晶炉输出的晶棒;
所述旋转单元与固定单元相连,能够倾斜所述固定单元;
所述平移单元与旋转单元相连,能够水平移动所述旋转单元和固定单元;
所述升降单元与平移单元相连,能够垂直升降所述平移单元、旋转单元和固定单元。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,
所述固定单元包括容置子单元和第一紧固子单元,
所述容置子单元能够容置所述晶棒;
所述第一紧固子单元与容置子单元的边缘可拆卸地连接,能够将所述晶棒夹持在容置子单元内。
3.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,
所述第一紧固子单元的一端与容置子单元的边缘通过铰链连接,另一端为自由端,以使得所述第一紧固子单元能够自由开合;
和/或,所述第一紧固子单元至少为两个。
4.根据权利要求2或3所述的装置,其特征在于,
所述容置子单元采用半弧形晶框;
和/或,所述第一紧固子单元采用半弧形紧固夹。
5.根据权利要求4所述的装置,其特征在于,
所述半弧形紧固夹采用加厚铁片制成,所述加厚铁片的厚度范围为3mm~4mm;
和/或,所述半弧形紧固夹的外表面均匀包裹有耐高温材料;
和/或,所述半弧形紧固夹与晶棒接触的一侧设置有耐高温橡胶。
6.根据权利要求2所述的装置,其特征在于,
所述旋转单元包括第一转轮、转轴和连接子单元,
所述第一转轮套装并固定在转轴上,所述转轴的一端与容置子单元相连且垂直设置,所述转轴的另一端与连接子单元相连并能相对于连接子单元自由转动,所述连接子单元还与平移单元相连。
7.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,
所述连接子单元包括套筒和轴承,所述轴承套装在所述转轴的另一端上,所述套筒套装在轴承上,且所述轴承的内圈与转轴过盈配合,所述轴承的外圈与套筒过盈配合。
8.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,
所述旋转子单元还包括设置在第一转轮上的卡销,和套装在所述连接子单元上的齿轮卡槽,所述卡销和齿轮卡槽能够卡合以锁定第一转轮,使其无法旋转。
9.根据权利要求6所述的装置,其特征在于,
所述固定单元还包括第二紧固子单元,其一端与第一转轮的外圈可拆卸地连接,其另一端与第一紧固子单元可拆卸地连接,用于保证所述第一转轮和第一紧固子单元之间的距离恒定。
10.根据权利要求9所述的装置,其特征在于,
所述第二紧固子单元包括紧绳器和安装于紧绳器上的加韧钢丝绳,且所述紧绳器的一端与第一转轮的外圈通过螺栓连接,另一端与第一紧固子单元通过勾爪连接;所述加韧钢丝绳的直径为6mm;
和/或,所述第二紧固子单元与第一紧固子单元的数量相同且一一对应。
11.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,
所述平移单元包括箱体、第二转轮、丝杠和方架,所述丝杠包括螺杆和螺母,
所述箱体固定在升降单元上;
所述丝杠和方架设置在箱体内部,所述第二转轮设置在箱体外部,且所述丝杠水平设置;
所述螺杆的一端伸出箱体,所述第二转轮套装并固定在螺杆伸出箱体的一端,所述方架套装并固定在所述螺母上,并能在第二转轮带动螺杆旋转时,随螺母在箱体内部沿所述螺杆的长度方向移动,所述方架还在与所述螺杆垂直的方向上与所述旋转单元相连,以使得所述旋转单元和固定单元能够沿所述螺杆的长度方向平移。
12.根据权利要求11所述的装置,其特征在于,
所述平移单元还包括滑轨和与滑轨配合使用的滚轮,
所述滑轨设置在箱体内部并与所述螺杆平行设置,所述滚轮固定在方架上,所述方架通过滚轮能够在滑轨上滑动。
13.根据权利要求12所述的装置,其特征在于,
所述滑轨采用四条,分别设置在箱体内顶部的两侧和底部的两侧,每条滑轨均与所述螺杆平行设置;
所述滚轮采用八个,每四个滚轮分别竖直固定在方架的与所述螺杆平行的两侧面上,且每四个滚轮分别竖直固定在一个所述侧面的四个角的位置处。
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