[实用新型]自适应双频激光干涉仪有效
| 申请号： | 201420202511.7 | 申请日： | 2014-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN203929039U | 公开（公告）日： | 2014-11-05 |
| 发明（设计）人： | 励春亚 | 申请（专利权）人： | 象山星旗电器科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27;G01B9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315700*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 自适应 双频 激光 干涉仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种自适应双频激光干涉仪，其特征在于：所述干涉仪包括双频激光器L、第一棱镜W1、第二棱镜W2、直角棱镜R和探测器D1、探测器D2，按照光路方向依次设置所述双频激光器L、第一棱镜W1、第二棱镜W2、直角棱镜R和探测器D2，所述探测器D1设置在干涉仪包括双频激光器L和第一棱镜W1之间，双频激光器L射出的正交线偏振光首先通过第一棱镜W1，分开一小角度，然后通过第二棱镜W2后变成两束平行光，经尾端的直角棱镜R反射后，再依次通过W2、W1变成一束光，由探测器D2接收，形成测量信号。
2.根据权利要求1所述的自适应双频激光干涉仪，其特征在于：所述双频激光器L的发射端为双频激光头。
3.根据权利要求2所述的自适应双频激光干涉仪，其特征在于：所述双频激光头射出的是正交线偏振光，所述探测器D1输出的是参考信号。
4.根据权利要求3所述的自适应双频激光干涉仪，其特征在于：所述正交线偏振光通过第一棱镜W1后形成角度θ。
5.根据权利要求1所述的自适应双频激光干涉仪，其特征在于：所述探测器D1和探测器D2的光路方向分别设置有起偏器P。
6.根据权利要求1-5之一所述的自适应双频激光干涉仪，其特征在于：所述第一棱镜W1和第二棱镜W2均为沃拉斯顿棱镜。
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