[实用新型]感光性元件、感光性元件卷以及电子部件

说明书

技术领域

本实用新型涉及感光性元件、感光性元件卷以及电子部件。

背景技术

感光性元件主要是为了在印制电路布线板上形成电路而使用。另外，感光性元件还在用于保护印制电路布线板上的电路的绝缘膜的形成中、用于恒定地保持液晶显示装置中的液晶层间隙的间隔物的形成等中使用。

感光性元件通常具有支撑膜、感光层、保护膜的3层结构。感光性元件例如下使用。首先，将感光性元件的保护膜剥离后，将含有感光性树脂组合物的感光层层叠(层压)在基板上(层叠工序)。接着，由支撑膜侧对感光层的规定部分照射活性光线以形成光固化部(曝光工序)。之后，将支撑膜剥离除去后，将未曝光部从基板上除去(显影)，从而在基板上形成由感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀图案(显影工序)。

所得的抗蚀图案能够用于绝缘膜或间隔物等，而且还可作为用于通过对抗蚀图案进行镀覆处理或刻蚀处理而形成电路的掩模来使用。

然而，本技术领域中已知保护膜中的与感光层的接触面的形状有时会被转印至感光层。例如下述专利文献1中示出了：通过将保护膜中的与感光层的接触面的表面粗糙度(Ra)调整至0.15μm以下并将保护膜中所含的直径为80μm以上的鱼眼的个数控制在5个/m²以下，从而会减少层叠感光层时产生的气泡。

另外，下述专利文献2中示出了：通过将保护膜的表面粗糙度(Ra)调整至0.5μm以上，利用层叠时的加压使其形状消失，从而提高对凹凸基板的随动性。

进而，下述专利文献3中示出了：对于转印表面粗糙度为0.01～2μm的微细凹凸的感光性元件，通过将保护膜中的与感光层的接触面的Ra调整至0.05～0.5μm，可以在光纳米压印中使用的具有微细凹凸的基材上层叠不会产生气泡的感光层。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-330291号公报

专利文献2：日本特开2000-147755号公报

专利文献3：日本特开2009-128759号公报

实用新型内容

实用新型要解决的课题

近年来，随着电子部件的高密度化及高功能化，需要具有薄层的感光层的感光性元件。在将这种具有薄层的感光层的感光性元件的该感光层层压在基板上时，如果使用以往的感光性元件，则有时会产生层压气泡。因此，需要能够充分地抑制层压气泡的产生的感光性元件。

本实用新型意在解决上述课题，其目的在于提供即便感光性元件具有薄层的感光层时、在层压时也可抑制气泡产生的感光性元件。另外，本实用新型的目的还在于提供具备所述感光性元件的感光性元件卷以及使用所述感光性元件获得的电子部件。

用于解决课题的手段

本实用新型的第1实施方式提供一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面是平滑的。

需要说明的是，本说明书中聚丙烯膜的“第1面及第2面是平滑的”如下定义：在将卷绕在卷芯上的感光性元件的聚丙烯膜剥离后，如图1所示，将支撑膜和感光层的层叠物(评价膜)F1按照感光层与作为被接触体的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(PET膜：支撑膜及感光层的宽度为PET膜的宽度的99％)相接触的方式在作为上述PET膜的F2上转印(层压温度为90℃、层压速度为2.0m/分钟)500mm，之后利用显微镜(物镜20倍)对感光层中的未与PET膜(被接触体)F2相接触的一面(感光层中与支撑膜相接触的一面)上的3个规定的测定区域(图1所示的1cm×1cm的区域A1、A2及A3。区域A1：感光层整体的长度方向及宽度方向的中央部；区域A2：将感光层在长度方向及宽度方向上分别分割成2部分所隔成的4个区域中的1个区域的中央部。区域A3：与区域A2呈对角位置的区域的中央部)进行观察时，直径为10μm以上的平均气泡数为2个以下。

本实用新型的第2实施方式提供一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面的算术平均粗糙度Ra为0.05μm以下。

本实用新型的第3实施方式提供一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面的最大高度Rmax为0.5μm以下。