[实用新型]直接充装MO源的装置

权利要求书

1.一种直接充装MO源的装置，其特征在于：包括MO源储罐（1）和MO源钢瓶（2），所述MO源钢瓶（2）上设置有进气管（3）和出气管（4），所述MO源储罐（1）设置有出料口（9），所述MO源储罐（1）的出料口（9）通过三通接头（5）连接在进气管（3）上，所述MO源钢瓶（2）内部设置有液位探头（6），所述液位探头（6）通过PLC控制器（7）连接在MOCVD信号接收器（8）上，所述PLC控制器（7）与三通接头（5）电连接，通过液位探头（6）和MOCVD信号接收器（8）探测到的信号对三通接头（5）进行控制。

2.如权利要求1所述的直接充装MO源的装置，其特征在于：所述MO源储罐（1）的数量为两个，一个使用，另一个备用，所述两个MO源储罐（1）的出料口（9）同时连接在三通接头（5）上，所述MO源储罐（1）使用惰性气体进行充装载体。

3.如权利要求2所述的直接充装MO源的装置，其特征在于：所述两个MO源储罐（1）为一组，每组MO源储罐（1）可充装三个MO源钢瓶（2），所述每个MO源钢瓶（2）放置在恒温水浴槽（10）中。

4.如权利要求1-3任意一项所述的直接充装MO源的装置，其特征在于：所述MO源储罐（1）内部同样设置有液位探头（6），所述MO源储罐（1）上设置有警报灯（11），所述液位探头（6）电连接在警报灯（11）上。